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半导体材料的组分不同,决定了其特性的显著差异。为了精确地控制半导材料在生长过程中的气体组分,设计了一种多通道电磁阀控制器。该控制器以单片机为控制核心,具有32个带功率放大的直接数字量输出(DO),可以直接驱动电磁阀从而控制材料生长气路的通断。该控制器可以独立工作,也可以通过RS485接口与上位计算机连接。多个这样的控制器可以进行组合,从而扩展控制规模。与一般的电磁阀控制器相比,抗干扰能力强,设置相对方便。  相似文献   
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