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1992年 | 2篇 |
1987年 | 2篇 |
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1.
氧化物靶材是一种关键性镀膜基材,主要用于磁控溅射制备TFT薄膜,并将其应用于晶体管等器件中透明电极、半导体沟道层,同时也广泛应用于显示面板领域。为满足高性能器件对薄膜的要求,氧化物靶材逐渐向高致密、大尺寸、异形化方向发展。以显示行业中氧化物靶材作为重点,介绍了氧化物靶材制备流程,主要从素坯成型、烧结工艺两个角度对氧化物靶材进行总结,分析了烧结工艺对靶材参数与溅射薄膜电阻率、光学透射率及粗糙度等方面的影响,最后阐述了国内外氧化物靶材市场的现状及发展趋势。 相似文献
2.
氧化锡由于其优异的透明性和半导体性能及成本低廉、绿色环保等特点,逐渐成为透明氧化物半导体材料研究的热点。使用异丙醇((CH3)2CHOH)和乙醇(CH3CH2OH)为溶剂、二水合氯化亚锡(SnCl2·2H2O)为前驱体,通过旋涂法制备低成本且环保的透明SnO2薄膜。采用同步热分析仪(TG-DSC)、激光共聚焦显微镜和霍尔效应测试仪等设备,对SnO2薄膜的化学组分、微观结构和光电性能进行表征,探究溶剂和退火温度对透明SnO2薄膜的影响及相关机制。研究结果表明:Sn2+在乙醇中的溶解性好,相应前驱体溶液的成膜质量高,薄膜致密平整;提高退火温度,薄膜内部杂质逐渐去除(215.6 ℃@CH3CH2OH),经过400 ℃退火后SnO2由非晶态向结晶态转变,且SnO2的结晶度随着温度升高而逐渐增加;基于不同温度制备的SnO2薄膜在可见光波段(390—780 nm)具备优异的透明性,在波长为390 nm时不同温度下的透射率分别为96.55%(250 ℃)、96.21% (300 ℃)、95.14%(350 ℃)、96.44%(400 ℃)和93.31%(500 ℃);随着退火温度升高,SnO2薄膜的霍尔迁移率先增大后减小,薄膜载流子浓度先降低后增大,优化后的SnO2薄膜(@350 ℃)的霍尔迁移率最高可达19.54 cm2?V-1·s-1,而可控载流子浓度低至7.47×1012 cm-2。通过优化溶剂成分和退火温度,最终制备了表面平整、高度透明且具备优良半导体性能的SnO2薄膜,其在透明电子应用方面具有巨大的潜力。 相似文献
3.
4.
为了验证用于测量物体表面形貌的双圈同轴型光纤传感器的数学模型的可行性、优化新结构光纤传感器中的参量以提高光纤传感器线性测量范围和灵敏度,采用了不影响调制特性曲线前坡数据的镜子纸作为反射面进行试验验证,并对新结构的光纤传感器进行了理论分析和数学建模,然后采用粒子群算法对新结构中的倾斜角度进行了优化。结果表明,以镜子纸为反射面所得的试验曲线与仿真调制特性曲线吻合,证明了用于测量物体表面形貌的双圈同轴型光纤传感器的数学模型的可行性;经粒子群算法优化后的倾斜角度为2.33°,此时前坡线性测量区间和灵敏度分别是倾斜角为零时的1.14倍和1.89倍。新结构的双圈同轴型光纤传感器展现出了良好的测量性能和应用前景。 相似文献
6.
纳米材料主要来源于化石原料,但由于化石原料的不可再生性,严重制约着纳米材料的进一步发展。生物质作为制备纳米材料的原料,具有来源丰富、绿色可再生的特点,其中木素是仅次于纤维素的自然界第二大可再生高分子聚合物,具有良好的生物亲和性。由木素制备的纳米粒子可替代部分有害的纳米材料广泛地应用在食品、生物医药、环境修复等领域,因此木素纳米粒子越来越受到人们的关注。本文对近年来木素纳米粒子的制备工艺及其在紫外防护、抗菌、药物运输等方面的研究进展进行了综述,旨在为木素高值化利用提供一定参考。 相似文献
8.
9.
10.
介绍了智能变电站网络结构,综合分析了谐波监测、评价方法,在此基础上设计了基于MSP430单片机的智能变电站电能监测单元。按照IEC 61850-9-2和IEC 61850-8规约分别实现了SV网协议栈和MMS网协议栈。以满足电能监测单元与智能变电站间隔层SV网和站控层MMS网的数据交互要求。通过高精度SV网数据采集实现了电力系统实时数据的精确计量。同时,在对谐波监测方法进行分析比较的基础上,采用快速傅立叶变换(FFT)方法通过电能监测单元完成高速谐波监测,并对谐波评价关键参数进行计算。通过试验测试,验证了该智能监控单元测量精度满足国标要求,对接入点20次谐波的测量误差小于1%,可以正确反映谐波含有率和总谐波畸变率水平:与SV网、MMS网稳定通讯,且具有良好的抗电磁干扰能力。 相似文献