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首先从我国芯片的产业现状和发展格局入手,梳理芯片产业链确定高端芯片制造的EUV光刻技术是生产芯片的"卡脖子"技术.然后分析EUV光刻技术领域的发展趋势、技术分布、竞争态势和专利布局.最后从专利视角挖掘我国大陆EUV光刻技术与发达国家/地区的技术发展差距,提出解决芯片"核芯"技术受制于人问题的对策建议,为相关部门研究制定... 相似文献
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