溶胶-凝胶法制作PZT薄膜微驱动器的工艺研究

使用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的无阀型微驱动器.针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了多层驱动膜的制备方法及PZT薄膜的刻蚀工艺.采用Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构,解决了PZT薄膜制备中存在附着力、抗疲劳等问题,利用BHF/HNO3溶液实现了PZT薄膜刻蚀技术的半导体工艺化.同时详细探讨了微机械加工(MEMS)中温度及溶液浓度对腐蚀工艺的重要影响,给出了硅各向异性腐蚀的最佳化工艺条件.通过以上方法成功地解决了集成制作的无阀型微驱动器的关键工艺问题,降低了器件的复杂性.采用以上工艺得到的驱动器硅杯面积大、均匀、平坦,而且在无阀型微驱动器整体设计中没有可以移动的机械部分,所以微驱动器的寿命也得到了提高.     

城市绿色空间的生态学研究

运用复合生态系统理论对城市绿色空间的生态服务功能作了分析,提出了我国城市绿色空间的生态规划策略,并对今后城市绿色空间系统的发展进行了分析与展望。     

Candidarugosa脂肪酶交联酶晶体稳定性研究

交联酶晶体是一种新型的生物催化剂。本研究对Ｃａｎｄｉｄａｒｕｇｏｓａ脂肪酶交联酶晶体的制备以及其性进行了探索,制备得的交联酶晶体不仅保持酶原有的特性,而且提高了酶在极端环境条件,下的稳定性,并初步研究了交联酶晶体在有机溶液中的稳定性。     

新发现的临边错暗常数经验公式及其理论解释

文章介绍了我们新发现的可确定恒星临边错暗常数的简单经验公式，这些常数可通过两套办法获得。在与太阳的观测比较中发现，直接方法的一级近似公式的平均方式为０．０１２８。二级公式的方差为０．００５０。间接方法只能精确到一级近似，斯民得平均方差可优于０．０２３９。有理由认为，间接方法有普遍意义，可应用于其它恒星。只能精确到一级近似，其所得平均方差可优于０．０２３９，有理由认为，间接方法有普遍意义，可应用于其     

KTP和BBO晶体对1.06μm皮秒光脉冲的倍频效率

用５ｍｍ的ＫＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ４）和ＢＢＯ（β－ＢａＢ２Ｏ４）非线性晶体，对皮秒的ＣＰＭ，Ｎｄ∶ＹＡＧ脉冲激光的腔外倍频效应进行研究，获得倍频能量转换效率分别为４２％和３２％，证明ＫＴＰ倍频效率高于ＢＢＯ，结果与理论分析相符．     

轧制应变速率参数ε的精确计算方法

该文采用精确接触弧参数方程，设定运动许可速度场与应变速率场，经参量积分与积分中值定理提出一个精确计算轧制应变速率ε的计算公式，经测试实例与目前各惯用公式进行了比较。     

加强公交线网规划研究努力构建和谐社会

本文立足于天水市的路网结构和出行需求,同时充分考虑其地理位置和旅游特性,布设以市区线为基本网络,市郊线密切结合的层次合理的城市公交线网,在满足一般的公交线路功能的同时重点突出其旅游服务功能,并在此基础上,建设完善的公共客运交通生产、生活设施,给城市居民创造便捷的出行方式,构建和谐社会,促进城市社会经济的健康和可持续发展.     

凉山彝族民歌简述

凉山彝族民间歌曲是在彝族人民长期的生产劳动中产生的，它是一种受外来影响少、自身发展形成的艺术形式。     

中德环境影响评价制度之比较

本文通过中德两国环境影响评价制度的比较,旨在借鉴德国先进经验,进一步完善我国的环境影响评价制度。     

心脏信号处理进展

本书是关于如何提取、分析心电图（ECG）信号不同特征的论文集，由南洋理工大学访问教授U．R．Acharya等四位学者主编。该书包含不同作者撰写的20篇论文，分为20个章节。这些论文论述了在不同阶段提取、分析心脏信号特征的方法，以及如何通过这些特征对心脏功能进行正确判断和分类。