扫描干涉光刻机的超精密移相锁定系统

扫描干涉光刻机移相锁定是实现大面积高精度全息光栅曝光拼接的关键之一。为了实现大面积高精度全息光栅高精度曝光拼接,针对扫描干涉光刻机步进扫描拼接轨迹,重点开展了移相锁定系统的研究。在零差移频式相位锁定分系统和外差利特罗式光栅位移测量干涉仪的基础上,阐述了扫描干涉光刻机的新型移相锁定系统原理。针对新型的移相锁定系统原理,构建了移相锁定控制系统实验装置。最后,基于移相锁定控制实验装置,针对移相锁定定位性能,开展了移相锁定定位控制实验以及影响控制精度的因素分析,实现了±3.27nm (3σ,Λ=251nm)的定位控制精度;针对移相跟踪控制性能,在移相跟踪控制精度实验分析的基础上,利用陷阱滤波PID控制实现了±4.17nm(3σ,Λ=251nm)的跟踪控制精度。     

面向浸没式光刻机的超精密光学干涉式光栅编码器位移测量技术综述

超精密平面光栅编码器位移测量技术是32～7nm节点浸没式光刻机的核心技术。通过分析浸没式光刻机平面光栅位置系统的需求和布局,提出了光刻机专用超精密平面光栅编码器的基本需求。针对现有的光栅编码器,开展了基本测量光路方案、相位探测方案、分辨率增强光路方案、离轴/转角允差光路方案、死程误差抑制光路方案的综述分析,提出了现有设计方案面向光刻机应用所需要解决的关键问题。面向亚纳米级测量精度的需求,针对光栅编码器的仪器误差,对周期非线性误差、死程误差、热漂移误差和波前畸变误差进行了综述分析,提出了平面光栅编码器实现亚纳米精度所需要解决的关键问题。本综述为光刻机专用超精密平面光栅编码器的研制提供了参考。     

基于遗传模糊C-均值与概率松弛法的图像分割研究

在利用遗传模糊C-均值对图像像素进行初步分类的基础上,采用概率松弛算法对目标与背景间的疑似像素进行进一步分割和目标提取,很好地解决了目标提取不完整的问题,实验结果表明,该算法具有良好的特性.     

采煤机摇臂齿轮固热耦合分析与齿廓修形

基于赫兹接触理论建立齿轮啮合力学模型,依据渐开线形成原理推导出滚动距离和滚动角变化规律,以牛顿冷却定律和傅里叶定律为理论基础,结合采煤机摇臂工作特性,对齿轮系统对流换热和摩擦热流量进行计算,在对流换热系数确定中综合考虑齿轮与润滑油,润滑油与箱体内壁,箱体外壁与外界空气的热传递特性,以Blok理论为基础,本体温度为初始温度,分析了齿轮表面闪温和接触温度随滚动距离及滚动角变化规律。采用Romax Design建立了采煤机摇臂齿轮传动系统模型,对惰轮轴齿轮副进行固热耦合分析,基于Romax微观几何修形理论对渐开线齿廓进行修形,分析了齿廓修形对温度场影响。结果表明:齿廓修形消除了赫兹接触应力瞬增现象,最大接触应力减少72 MPa,修形后高温区由齿顶和齿根向齿廓中部移动,改善了轮齿温度分布,最高温度降低31.4℃。为研究采煤机摇臂齿轮传动系统修形及优化提供了理论基础。     

基于回归正交设计的ICP刻蚀机工艺腔室流场特性分析

为研究感应耦合等离子体(IcP)刻蚀机工艺腔室结构对流场特性的影响,采用回归正交设计方法对腔室半径、腔室高度、进气口半径以及进气流量4个设计参数进行试验设计,利用商业软件CFD-AcE 建立IcP刻蚀机工艺腔室二维流场仿真模型.定义了静电卡盘上方气压分布均匀性评价函数,通过对试验结果的回归分析,确定了关键参数对气压分布均匀性影响程度的定量关系,并由此建立了拟合度较高的二次回归方程.结果表明腔室高度为最显著影响因素.经过验证可见,回归方程的计算结果与仿真分析结果保持了较高的一致性,可以为结构与工艺条件相近的刻蚀机、化学气相沉积(CVD)设备以及氧化/扩散系统的结构研究与设计提供参考.     

不同贮藏条件下鸡肉肌苷酸降解规律的研究

测定了12只文吕鸡胸肉在冷藏(0～2℃)1～10d和冷冻(-20℃)～90d内肌苷酸(IMP)和肌苷(I)含量的变化.结果显示:冷藏条件下IMP含量由屠宰2h的最高含量(3.583mg/g)开始随时间增加逐渐降低,不同时间点的含量差异极显著(p<0.01),冷藏4d的胸肉仍具有相对较高的食用价值,其IMP含量为宰后2h的73%;冷冻条件下IMP也随时间延长而下降,且不同测定时间测定值间差异极显著(p<0.01),但与冷藏相比,下降幅度明显变小,冷冻20d的肉样IMP的含量介于冷藏24～48h的肉样之间,冷冻90d的肉样IMP含量仍不低于冷藏10d肉样.I的变化趋势与IMP恰好相反,随着冷藏和冷冻时间的增加而逐渐增加.经回归分析,得到IMP含量在冷藏条件下依(t)变化的最佳回归方程为:IMP=0.014t2-0.295t 3.546(校正R2=0.877),在冷冻条件下的最佳回归方程为:IMP=-0.018t 3.470(校正R2=0.823).     

双腔室空气弹簧性能研究

在超精密加工/检测、IC制造及光学领域中,隔振器已经成为了许多设备的必要子系统,它能够对自地面或负载的振动进行隔/减振,有助于保证设备实现最终的设计精度。在众多的隔振器中,空气弹簧以其性价比高得到了广泛地应用,其固有频率基本不依赖于负载。本文在C. Erin的研究基础上,将节流孔数目参数引入,通过推导得到了空气弹簧的改进理论模型,并在此基础上分析了腔室、节流孔及或活塞等结构参数对空气弹簧动力学性能的影响,有助于进行结构的优化设计,同时得出在节流孔板高度即节流孔长度限制的条件下,减小节流孔直径并增加节流孔数量会提供较好的阻尼效果。最后通过试验验证了理论分析的结果,为以后的深入被动及主动隔振器的研究打下了基础。     

设备磨损监测用铁磁磨屑定量检测传感器

本文研究一种可用于对反映设备磨损状况的微量铁磁性颗粒进行定量检测的传感器,文中讨论了该传感器的检测原理、理论公式、工艺参数、性能指标等。     

加强家电企业供应链中的风险管理

随着家电行业微利时代的到来,为了提高资本的运营效率,家电企业开始与经销商战略合作,实行供应链管理,以降低成本,提高效益。然而,在关注利润的同时,不能忽视对过程中存在的风险的管理。本文根据一般风险管理的评估步骤,对家电企业供应链管理过程中的风险进行了分析、评估,并提出了防范措施。     

测试仪器检测锁存电路的原理与应用

介绍一种消除零点漂移和读数不稳对测试仪器不良影响的实用电路，该设计采用锁存型数显表头、采样保持电路、读数／锁存控制电路等一系列配套电路，达到了自动跟踪漂移的零点、输出检测变化值、读数自动锁存的工作方式，从而提高了测试仪器的操作性能。