TaN薄膜的等离子体增强原子层沉积及其抗Cu扩散性能

使用Ta[N(CH₃)₂]₅和NH₃等离子体作为反物用等离子体增强原子层沉积工艺生长了TaN薄膜,借助原子力显微镜、X射线光电子能谱、四探针和X射线反射等手段研究了薄膜的性能与工艺条件之间的关系。结果表明,TaN薄膜主要由Ta、N和少量的C、O组成。当衬底温度由250℃提高到325℃时Ta与N的原子比由46:41升高到55:35,C的原子分数由6%降低到2%。同时,薄膜的密度由10.9 g/cm³提高到11.6 g/cm³,电阻率由0.18 Ω?cm降低到0.044 Ω?cm。与未退火的薄膜相比,在400℃退火30 min后TaN薄膜的密度平均提高了~0.28 g/cm³,电阻率降低到0.12~0.029 Ω?cm。在250℃生长的3 nm超薄TaN阻挡层在500℃退火30 min后仍保持良好的抗Cu扩散性能。     

环境大气压的分布变化规律与差压式真空度测量的系统误差

差压式真空度测量是低真空范围(0.1～100 kPa或1～760乇)的一种常用测量方法.本文讨论了差压式真空度测量的局限性以及由于大气压强的变化而产生的测量系统误差,并给出了误差的修正方法(公式).另外,还讨论了如何正确使用差压式真空度测量仪表和规范真空度计量单位的有关问题.     

炮弹制造质量综合评估方法研究

针对炮弹制造质量水平评判过程中存在的抽样试射成本高、难以评价批次炮弹质量、未有效利 用制造过程质量数据等问题,开展炮弹制造质量综合评估方法研究。首先研究炮弹制造质量综合评估框架,规 范炮弹制造质量综合评估过程;将失效模式分析方法确定的炮弹关键特性作为评估指标,构建覆盖炮弹采购、 加工、装配和检验等制造全过程的制造质量评估指标体系,并应用层次分析法(AHP)确定各指标的权重;采用 生产过程能力指数构建制造质量评估计算模型,基于加权和法与加权几何平均法构建制造质量评估聚合模型, 形成炮弹制造质量两层评估模型,充分利用制造过程中的关键特性质量检测数据实现炮弹制造过程质量的定量 评估。最后以某型炮射导弹为例,验证了炮弹制造质量综合评估方法的可操作性、可行性和有效性。     

动力吸振器在后桥振动控制中的应用

对某汽车后驱动桥总成进行了传动系台架试验,发现振动频率为165Hz附近存在异常振动区。通过有限元模态计算以及台架约束模态试验确定该频率为后桥一阶弯曲模态频率。针对此共振频率设计了一款最佳调谐的阻尼式动力吸振器,并进行虚拟样机模拟验证和样件实物台架试验效果验证。结果表明:该吸振器减振效果良好,因为实车约束一阶模态频率与台架约束一阶模态频率相近,且该吸振器有效频带较宽,故其在实车上也会具有良好的减振效果。     

旬河柴坪水电工程综合开发效益分析

水电是可再生的清洁能源,符合目前全球节能减排和低碳生活的发展要求,值得大力发展。本文针对旬河干流镇安段水能资源状况,提出建设柴坪水电工程的方案,并对综合开发前景进行了论证分析,供水利水电技术人员参考。     

计算机硬件故障分析与日常维护

计算机设备使用日久、使用不当或意外受损,出现故障是难免的,作为维护人员,要深刻了解计算机硬件的工作原理,积累有价值的维修方法和技巧,对解决本专业技术难题是非常有帮助的,这里将本人的一些经验介绍给大家,请同行们批评指正。     

CY6102BZQ完善提高型柴油机排放控制研究

本文论述了CY6102BZQ完善提高型柴油机的排放控制方法及其理论依据:通过对喷油泵、喷油器、活塞顶燃烧室的匹配和静态供油提前角的调整以及对增压器进行的匹配与调整,使CY6102BZQ完善提高型机在较短时间里排放达到欧I标准;通过理论分析与研究,为今后其他机型的开发提供理论依据和经验。     

基于粗糙集理论的不完备决策表的完备化方法

首先针对不同的条件属性类型,分别给出两对象关于条件属性的相似度,然后给出了t相似度的概念,最后分别就条件属性是离散、连续、序数型的决策表给出了相应的完备化(补齐)算法.实例表明此完备化方法是行之有效的.