基于空间节约功能复合的晶圆清洗干燥检测集成装置研究

新一代集成电路工艺要求晶圆越来越薄,其后处理加工的难度增大.通过各单元模块化的结构设计,有效地将晶圆的"清洗—干燥—检测"3种后处理技术集成起来,整体工艺处理流程时间平均缩短了47.5％.通过改进异丙醇雾化法,有效地提高晶圆干燥的效率,相较于传统的干燥方式,每片晶圆有效面积内残留水痕面积减少38.4％,检测正确率达到9...     

含异氰酸酯基丙基三乙氧基硅烷的合成

研究了氯丙基三乙氧基硅烷与氰酸钾反应制备异氰酸酯基丙基三乙氧硅烷的方法,考察了反应温度,反应物的配比优化,溶剂种类以及保护试剂的种类对合成产率的影响,确立了最佳的合成条件：反应物氯丙基三乙氧基硅烷与氰酸钾的摩尔比为1：1．15,DMF为溶剂,己内酰胺为保护试剂,反应温度为125℃,收率可达92％,并采用波谱分析确证了目标物质的结构。     

按ISO标准计算同步齿形带传动的方法

总结了IS05295:1987、IS05296:1989、GB/T11362-1989等标准中关于设计和计算同步齿形带传动的公式和数表,得出了一套切实可行的同步齿形带传动的计算和校核方法.     

基于正弦波磁光调制的空间方位失调角传递技术的改进

为了扩大基于正弦波磁光调制的方位传递系统的传递范围并提高传递精度,对传统的方位失调角传递方法进行了改进.在分析当前方位失调角传递原理的基础上,引入二倍角公式来扩大失调角的传递范围;通过分析失调角与磁光调制后光强信号中横坐标不变的极值点的关系,建立了失调角测量模型,并利用信号中极值点的对比细化了测量模型.提出了大角度查表和小角度近似逼近的方法,解决了测量模型中反正切函数的具体实现问题.仿真结果表明:失调角的理论传递范围明显扩大,精度较高;实验结果表明:实际的失调角可在-64～64°传递,传递误差在10″以内,优于当前方法.提出的方法可为大范围、高精度传递空间方位失调角提供参考.     

全波段光窗玻璃及微晶化

研究了GeSe2-Ga2Se3-MX(M=Cs,K,X=I,Br,Cl)系玻璃的形成和性能。研究表明,这些系统均具有较大的玻璃形成区,其中,GeSe2-Ga2Se3-CsI系统的成玻能力和热稳定性最佳。随碱金属卤化物含量的增加,GeSe2-Ga2Se3-MX玻璃的短波吸收限逐渐蓝移至可见光区(可至550 nm以下),长波截止边无明显变化,部分玻璃在0.6~16μm范围内具有良好的透过率。玻璃的转变温度Tg、显微硬度Hv、断裂韧性K1c和弹性模量E随卤化物的含量增加而减小,而膨胀系数α增大。研究发现,该系统玻璃随热处理温度的提高,首先发生滴状分相,随后在滴状分相区内产生析晶。通过采取合适的热处理制度,研制获得了具有较好的K1c和红外透光性的微晶玻璃。研究结果表明,GeSe2-Ga2Se3-MX硫卤玻璃和玻璃陶瓷是一种具有应用前途的全波段透射和红外透射材料。     

浅谈沥青混凝土在路面中的反射裂缝影响

本文采用断裂力学理论及奇异等参元法,探讨了I型和Ⅱ型的应力强度因子(K1、K2)在沥青层裂缝扩展过程中的变化规律及路面结构参数对K2的影响。该法得出于实验结果相符合,最后给出了相应的算例,数值。并得到了具有实际意义的结论。     

露天矿卡车调度系统在安全生产中的应用

目前国内大多数露天矿采用电铲-卡车间断工艺,设备向大型化、现代化方向发展。随着设备大型化的发展,移动设备本身的体积也随之增大,司机的有效视距受到相应的影响,而随之而来的交通安全事故则成为露天矿面临的主要安全问题之一。露天矿在此方面除了通过加强安全管理,提升司机的安全意识外,并没有行之有效的措施降低安全事故的发生率。而移动设备近距离安全预警技术也随之提上日程,根据设备运行速度以及安全制动距离等自动进行预警提示,通过预警功能司机可以提前对预期的危险作出有效的处理,从而降低安全事故的发生率。     

篮花楹KP法制浆性能研究

本文对厄瓜多尔6年生蓝花楹原料的化学成分进行了分析发现该树种有较好的纤维特性。硫酸盐法制浆的试验表明：蓝花楹是一种典型的热带材种；在硫化度25％、活性碱用量18％、在165℃保温80min的硫酸盐法蒸煮备件下，可以得到卡伯值为24．3、细浆得率46．9％和纸张裂断长7,62km的KP浆。     

电力系统直流电源的维护与应用

对电力系统电源在运行过程中维护应注意的事项进行了分析说明,针对蓄电池、充放电设备、监控装置、系统接线以及操作保护设备等方面在电力系统直流电源运行过程中存在的一些问题和应注意的事项进行了阐述。     

纸用封闭型水性聚氨酯制备过程中的影响因素

介绍了封闭型水性聚氨酯在制备过程中的影响因素,主要包括原料的影响、聚氨酯预聚体合成过程中的影响和封闭、解封过程中的影响。其中着重研究了溶剂的选择、反应温度、促进剂的选择、投料方式、pH值、封闭时间等对封闭效果的影响。