高Q值环形波导微谐振腔研究进展

基于高Q值环形波导微谐振腔和微加工工艺的微光机电器件及系统是当前微纳制造科学和量子光学技术领域的研究热点。主要分析了环形波导微谐振腔的物理作用及应用价值,系统综述了环形波导微谐振腔Q值的测量方法,重点讨论了硅基环形波导微谐振腔Q值的影响因素,从材料、结构设计、加工工艺方面分析了提高环形波导微谐振腔Q值的技术途径,指出了当前高Q值环形波导微谐振腔研究存在的技术瓶颈问题,并展望了未来的发展趋势。     

一种MEMS硅微三维加速度计设计

在压阻式硅微二维加速度计的基础上,提出了一种MEMS硅微三维加速度计.该加速度计微结构包括由四梁-柱体组成的二维水平检测单元和双T型垂直检测单元两部分,通过双T型检测单元和微型柱体与四梁检测单元检测空间三维方向的加速度值.建立了该结构的数学模型并用有限元分析软件Ansys对敏感弹性元件进行力学特性分析.最后对加工出的加速度计进行性能测试.测试结果表明,该加速度计3个方向频响曲线平坦、灵敏度高、线性度好,轴间耦合度小,X向灵敏度为2.17 mV/g,非线性度为0.63％,y向灵敏度为2.08 mv/g,非线性度为0.75％,Z向灵敏度为1.66mV/g,非线性度为1.13％.     

A novel anti-theft alarm system b ased on detection of magnetic field

This paper proposes a novel bidirect i o nal anti-theft alarm scheme through detecting the magnetic field.The theoretical background and analysis of the approach of anti-theft alarm are pre sented.The circuit of burglar alarm is designed,fabricated and tested,and C language program is implemented and debugged.Feasibility of the de veloped scheme is proved by the experiments.     

MEMS电容式超声传感器设计

在传统的电容式超声传感器(CMUT)制造过程中,用低压化学气相淀积技术形成的氮化硅薄膜残余应力大且机械性能难以预知。为此,设计了一种基于阳极键合技术的CMUT,传感器薄膜和空腔分别定义在均匀性好、残余应力低的SOI片和玻璃片上。建立了一个简化的分析模型对该结构进行机械性能分析,采用有限元分析软件ANSYS仿真验证该所建立的分析模型并预估传感器的性能。利用ANSYS静电 结构耦合仿真给出了塌陷电压。介绍了敏感单元的工艺流程。所设计的传感器频率为1.48 MHz,灵敏度为0.24 fF/Pa,塌陷电压为70 V,量程为48 kPa。     

基于MEMS的压阻式超声传感器的设计与测试

A kind of piezoresistive ultrasonic sensor based on MEMS is proposed,which is composed of a membrane and two side beams.A simplified mathematical model has been established to analyze the mechanical properties of the sensor.On the basis of the theoretical analysis,the structural size and layout location of the piezoresistors are determined by simulation analysis.The boron-implanted piezoresistors located on membrane and side beams form a Wheatstone bridge to detect acoustic signal.The membrane-beam microstructure is fabricated integrally by MEMS manufacturing technology.Finally,this paper presents the experimental characterization of the ultrasonic sensor,validating the theoretical model used and the simulated model.The sensitivity reaches -116.2 dB(0 dB reference = 1 V/μbar,31 kHz),resonant frequency is 39.6 kHz,direction angle is 55°.     

基于拉曼光谱的微结构应力测试方法

讨论了利用拉曼光谱来定量分析由单晶硅和多晶硅材料构成的微机械结构应力测试方法,说明了该方法的基本原理,推导了单晶硅应力σ与相对拉曼频移△ω及多晶硅应力τ与相对拉曼频移△ω的关系,使基于硅体系的拉曼应力测试公式体系化.应用拉曼光谱测试方法对微加速度计悬臂梁和微谐振器支撑梁进行了应力测试.     

(Pb0.97La0.02) (Zr0.75Sn0.25-xTix) O3 反铁电陶瓷温度诱导相变效应

Pb0：97La0：02（Zr0：75Sn0：25x Ti x/O3（x D0.10, 0.105, 0.11）（PLZST） antiferroelectric ceramics with highly preferred-（110） orientation were successfully fabricated via the conventional solid-state reaction method.The antiferroelectric nature of PLZST ceramics induced by electric field was demonstrated by the dielectric constant-temperature（D-T） and the polarization-electric field（P-E） measurement. Typical phase transition from ferroelectric（FE） to antiferroelectric（AFE）, and then to paraelectric（PE） is obtained. The results indicate that the phase transition behavior is suppressed with increasing of x, and T c is remarkably shifted to higher temperature of168 ℃, 170 ℃ and 174 ℃, respectively. Besides, high phase transition current（110 6A, 810 7A and 610 7A, respectively） is obtained with temperature induced. Consequently, the excellent electric properties and the restraint between temperature and electric field would provide basis on the application of PLZST antiferroelectric ceramics in microelectronic integrated systems and sophisticated weapons systems.     

微型惯性测量系统及其应用

目的 对微机电系统（MEMS）和微型惯性测量系统的国内外现状,国家政策进行介绍,讨论微型惯性测量系统（MIMS）应用技术。方法 结合世界各国政府对该技术的政策导向和我国的对策,在应用技术方面,采用系统优化,设计专用集成电路并采用抗高过载方法。结果与结论 模块化集成方法能够满足部分需求,已在我国一些重大型号上获得应用,微型惯性测量系统是今后需要重点研究的微机电系统之一。     

压力测试中引压管的动态特性研究

采用激波管实验装置对不同长度、不同直径的引压管进行了实验.利用MATLAB编写了快速傅里叶变换(Fast Fourier Transform,FFT)算法,通过FFT算法计算了实验结果的频率特性,分析了长度、直径对引压管动态特性的影响.结果表明:随着直径的增加,引压管的工作频带变宽;长度是最主要的影响因素,直接决定引压...     

MEMS仿生矢量水听器优化设计

针对纤毛式MEMS仿生单矢量水听器灵敏度偏低、频响曲线起伏较大的缺陷,对该结构水听器进行了优化设计.通过理论分析和仿真计算,从两方面进行了优化,一是纤毛材料的选择,选用光纤替代塑料柱体;二是设计了一种"半油半酯"新型封装结构.最后在国防水声一级计量站对该封装水听器进行了相应的校准测试.测试结果表明,该水听器性能较之前有了明显提高,灵敏度达到-165 dB(包括前置放大26 dB),频响范围为20 Hz～2 kHz(±4 dB),具有良好的"8"字型指向性.