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0.35μm分步重复投影光刻机气浮工件台研究 总被引:2,自引:1,他引:1
本文阐述了气浮工件台的组成、工作原理及控制方法 ,对影响气浮工件台重复定位精度的各种因素做了详细的介绍 相似文献
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采用自由空间法,以矢量网络分析仪组成测试平台,对粮食介电特性进行测试.结果显示:介电常数随着频率的增加在0.65~0.95之间呈波浪式增加;介电损耗因子测试值在0.7~6之间,与理论值0.1~1存在较大误差,对误差产生的原因进行了分析. 相似文献
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活塞杆是船用柴油机的主要运动部件之一,柴油机工作时活塞杆承受周期多变的气体力和惯性力的作用,其加工质量将直接影响柴油机的性能。活塞杆属于长轴类零件,两端都是平面法兰,杆身为圆柱空心体,外表面淬火硬化处理,具有较高的抗拉强度和刚度,如图1所示。为保证船舶航行时柴油机的性能,活塞杆表面的形位公差和表面粗糙度要求都较高。传统的砂轮磨削加工方式已难以同时满足活塞杆质量和生产效率的要求,还有船东对船用产品外观日益严格的要求。 相似文献
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