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掺杂浓度对多晶硅纳米薄膜应变系数及其线性度的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
利用低压化学气相沉积(LPCVD)技术制备了不同掺杂浓度的多晶硅纳米薄膜,并对样品的压阻特性进行了测试.采用最小二乘法对实验数据进行拟合,得到了应变系数及其线性度与掺杂浓度的关系.实验结果表明:掺杂浓度从8.1×10^18cm^-3变化至7.1×10^20cm^-3,多晶硅纳米薄膜的纵向和横向应变系数先增加再减小,最后基本不再随掺杂浓度而变化,且纵向应变系数大于横向应变系数:掺杂浓度低于4.1×10^19cm^-3时,应变系数的非线性较大,且随掺杂浓度的升高而迅速减小;掺杂浓度高于4.1×10^19cm^-3时,应变系数的非线性较小并出现波动现象,同时纵向应变系数的非线性小于横向应变系数的非线性.利用隧道压阻理论对实验结果进行了分析.结合以前的研究结果可知,适合传感器制作的多晶硅纳米薄膜的优化掺杂浓度应为(2.0~4.1)×10^20cm^-3,为进一步利用多晶硅纳米薄膜制作传感器提供了非常有价值的参考信息. 相似文献
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针对微型直接甲醇燃料电池(DMFC)阳极传质效率低和性能差等问题,对DMFC阳极流场结构进行了研究.利用MEMS技术实现了具有点形、平行和蛇形等阳极流场结构的硅基自呼吸式DMFC,测试对比结果表明单蛇形流场结构性能要优于其他几种流场;另外,对单蛇形流场结构参数进行了优化,结果表明当流道宽度∶脊的宽度∶流道长度为2∶3∶254时,电池性能达到最佳.在此基础上,为了改善反应物到催化层的传质效率和提高性能,提出了一种渐缩式单蛇形流场结构,其电池最大输出功率密度达到15.41 mW/cm2,比传统等宽式单蛇形流场提高了将近35%,为便携式微能源系统的应用开发奠定了基础. 相似文献
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运用振动隔离原理设计声-振动传感器系统中声音传感器的两种隔震封装模型:传统式隔震封装模型和双J形隔震封装模型.运用ANSYS有限元分析软件对模型进行模态分析,得出两种封装模型的固有频率与模型尺寸参数的关系曲线.分析结果表明,双J形隔震封装模型的固有频率明显低干传统的隔震封装模型的固有频率,双J形隔震封装模型尺寸参数为R=1.6mm,r=1.2mm,H=8mm时,其固有频率为:左右振动模式f21=30.900Hz,前后振动模式f22=105.99Hz,上下振动模式f23=130.84Hz. 相似文献
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体硅工艺微振动传感器与表面工艺微振动传感器相比,具有灵敏度高、噪声低等优点.本文研制的体硅工艺微振动传感器,其敏感单元为叉指电极结构,弹性梁采用新颖的多级折梁结构.利用硅深槽刻蚀技术(ICP)制作微振动传感器,ICP的最大刻蚀深度可达400μm,最小线条宽度小于1μm.传感器的灵敏度可达56.8fF/g,测量范围-5g~5g,抗过载能力高于1000g,共振频率为2.5kHz. 相似文献
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镍薄膜电阻作为多功能传感器的温度敏感元件 总被引:6,自引:0,他引:6
为解决铝萍膜和银萍膜电阻率小、热敏电阻灵敏度低、耐腐馈性差、工作低等问题,提出镍薄膜电阻可以作为温度敏感元件集成在压力传感器上,对镍薄膜热敏电阻的制备方法、温度敏感特性进行了分析与实验研究,并将其集成在耐高温压力传感器上,对制备的压力-温度多功能传感器进行了测试,结果表明传感器可在室温至200℃温度压力传感器上,对制备的压力-温度多功能传感器进行了测试,结果表明传感器可在室温至200℃温度范围工作并达到较高精度,可以推广使用。 相似文献
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电泳芯片作为典型的低雷诺数、低体积流速的微流体器件,电渗流作为非常重要的物理现象,其大小直接影响分离情况和分析结果的精密度和准确度.基于低雷诺数理论建立电泳芯片微管道内电渗流的数学模型,利用有限差分法进行求解.当德拜长度为5nm时,不同Zeta电势下下,微管道内电渗流的流动情况为塞状流,电渗流的最大速度随着Zeta电势的增加而线性增加;当Zeta电势为-100mV,不同德拜长度下,电渗势沿壁面的法线方向呈指数级衰减.在不同的德拜长度下,电渗流的速度分布几乎一样,且当德拜长度改变时,电渗流的最大速度不变. 相似文献
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为了对转动装置的转速进行实时检测,研制出一种光敏Z-元件转速测量系统.应用光敏Z-元件设计了一种新型转速传感器,并利用该传感器构建了由转速采集、数据处理和数据显示等电路模块组成的测速系统电路.系统程序设计中采用分段采样法对计数误差进行修正,提高了转速测量系统的精确度.由于光敏Z-元件的特殊性质,测速系统具有精度高、响应速度快等特点. 相似文献