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51.
硅超薄可动悬空薄膜的弹性模量测试分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用纳米硬度计通过对超薄悬空薄膜的弯曲试验来测定硅可动悬空薄膜的弹性模量。硅悬空薄膜采用各向异性湿法腐蚀自停止技术制备。纳米硬度计测试方法精确测量了硅悬空薄膜的弯曲形变。试验研究表明,尺寸为2mm×1μm的硅悬空薄膜的弹性模量平均值为152GPa,差异为3.9%-6.8%。  相似文献   
52.
采用扫描电镜中的电子背散射衍射(Electron Backscattering Diffraction,EBSD)技术,对硼掺杂的可动悬空硅薄膜和用于激光二极管(LED)的蓝宝石衬底上异质外延生长GaN层中的弹性应变区进行了测量.将菊池图的图像质量(IQ)和Hough转变强度,以及小角度晶界错配的统计数据作为应力敏感参数,研究了单晶材料系统中,微米~亚微米尺度的晶格畸变状态及局域弹性应变场.EBSD测试获得了硅薄膜窗口区域及LED的GaN外延层中的弹性应变分布.  相似文献   
53.
针对河钢塞钢热轧产线的落后现状,探讨了其热轧设备和自动化系统存在的问题。通过改造加热炉系统,拆研重组粗轧机,新增除鳞泵,升级精轧自动化系统,改善辊型匹配,生产成本和设备能源消耗大幅度降低,轧辊更换周期有效延长,热轧产品瓢曲缺陷由0. 10%降至0. 03%,提升了产品质量和技术经济指标。  相似文献   
54.
针对带弹性敏感薄膜结构的微机械器件的硅/玻璃静电键合,介绍了一种有效的方法--局部电场屏蔽法,在键合过程中屏蔽弹性敏感薄膜所在位置的电场,使薄膜结构不受静电力的影响,从根本上解决了薄膜受静电吸引力而产生形变,与玻璃贴合甚至破裂的问题,大大提高了成品率.  相似文献   
55.
56.
纯滚动单圆弧齿轮是一种新型的圆弧齿轮,为了研究其振动特性,利用Pro/E建立纯滚动单圆弧齿轮的三维实体模型,然后导入到ANSYS中对该齿轮进行模态分析,分别得到纯滚动凸圆弧齿轮和凹圆弧齿轮的固有频率、振型及临界转速;讨论了不同齿数、模数、螺旋角情况下齿轮的固有频率,讨论结果为纯滚动单圆弧齿轮的优化设计和动态响应分析研究提供基础。  相似文献   
57.
马彦  赵林林  刘华庆  袁华 《应用化工》2011,40(7):1244-1247
对由淀粉及其衍生物为原料制备葡萄糖醛酸的氧化方法进行了归纳总结。鉴于葡萄糖醛酸现行工业生产方法的弊端,指出以甲基葡萄糖苷为原料的非均相催化氧化法是最有工业应用前景的研究方向。  相似文献   
58.
采用光学显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)、电子探针(EPMA)等方法,对不同热处理温度下2.0 GPa级热成形钢显微组织与力学性能进行表征与分析。结果表明:随着奥氏体化温度的提高,屈服强度和抗拉强度呈现上升趋势,而断后伸长率呈现先升高后下降的趋势。经过890℃保温370 s,以100℃/s冷速淬火至室温,可获得抗拉强度2 025 MPa,断后伸长率10.2%,强塑积达到20.66 GPa%的良好性能。随着奥氏体化温度提高,可降低C、Mn元素偏析程度,改善马氏体带状组织,避免马氏体带状组织引起不协调变形,延缓产生裂纹源与提高材料塑性。  相似文献   
59.
由于传统源网荷储协调控制作用下风机电压与储能输出功率稳定性较低,因此该文提出双碳目标下面向清洁能源消纳的源网荷储协调控制方法。首先,构建源网荷储关键单元的数学模型,分析发电系统的响应特性;其次,采用平均一致性算法获取电网运行全局信息,基于频率判断提出源网荷储协调控制策略;最后,通过对源网荷储系统的出力协调及负载减载,实现源网荷储的协调控制。实验结果表明,所提方法协调控制下,电压暂态稳定性与储能总输出功率稳定性均得到了明显的提升,验证了所提出方法具有较强的控制性能。  相似文献   
60.
车身轻量化与安全性是汽车制造行业目前最关注的两大研究方向。采用逆向解析的方法,针对某前驱小型车白车身用材进行材料反求,从白车身钢板用材与典型设计制造工艺两方面,结合轻量化与安全性需求,详细分析了车身钢铁材料的应用准则与车身设计制造中被动安全、激光拼焊、热成形技术、形状优化等典型工艺的应用情况。通过逆向解析对车身设计理念进行研究,了解了高性能材料和典型先进制造工艺的发展方向,为汽车产品设计提供参考,促进了车身用材与制造工艺的多元化发展。  相似文献   
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