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51.
一种改善准分子激光光束均匀性的新型均匀器 总被引:3,自引:0,他引:3
准分子激光作为当前光刻装置的主要光源,要求其输出激光光束强度分布尽量均匀。为了改善其光束强度分布的均匀性,介绍了一种新型梯形棱镜式准分子激光光束均匀器。从理论上分析了其工作原理及设计加工要求,计算了最佳均匀截面位置,并与普通棱镜均匀器进行了比较。实验中根据经梯形棱镜折射后光束能量在中间较强光束的本底基础上进行三分互补叠加的原理,实现了其与普通棱镜均匀器在二维方向上的组合使用;通过调节均匀器与接收屏之间的距离并同时记录每一位置处光束光斑的能量分布改善情况,确定了最佳均匀截面位置并与理论计算相吻合。利用其改善准分子激光器输出光束强度的分布,起伏优于4%,其均匀效果优于普通棱镜均匀器。 相似文献
52.
53.
54.
浅谈工程档案质量的控制 总被引:1,自引:1,他引:0
对工程档案内容和制成材料的质量问题进行了分析,从各部门的协调配合、加强工程档案的法规建设、建立档案工作网络等方面,提出了工程档案质量的控制措施。 相似文献
55.
56.
扩张阳极改性日英技术是制烧碱工业降低耗电的得力措施。采用改性隔膜及扩阳极可使电解槽的槽电压降低0.2-0.25V,生产每吨烧碱可节约用电140-200kWh,经济效益十分明显。 相似文献
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58.
59.
基于网络的虚拟三维环境中人机交互功能的实现 总被引:1,自引:0,他引:1
以VRML为例介绍了网络虚拟三维环境中人机交互功能的实现方式以及通过外部编程接口扩展交互功能的途径。 相似文献
60.
潜在指印的检测是物证检测中关键的一步。针对多种渗透性纸张上遗留的潜在指印,基于潜在指印残留物中有机物成分在紫外光激发下会产生荧光的特性,采用266 nm紫外激光器作为激发光源,通过二维激光扫描系统对潜在指印区域进行快速扫描,采用窄带滤光片滤除干扰光,以指印条纹对比度作为依据优化实验参数,采用剔除奇异亮点和提高对比度的方法复原指印荧光图像。通过对复印纸、书写纸、学生作业纸、便利贴和报纸这5种渗透性纸张上的汗指印和油指印进行检测,获得了汗指印和油指印的清晰图像。该方法可实现渗透性纸张上潜在指印的无损检测,在刑事侦查、痕迹检测等多个领域具有重要应用。 相似文献