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Annealing Behavior of Si1-xGex/Si Heterostructures 总被引:4,自引:1,他引:3
There are two reasonsfor people studying on the materialsannealing.Firstly,deviceswith semiconductor heterostructure may unavoidably experience some high-temperatureprocesses during both fabrication and operation.The thermal stability... 相似文献
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组份线性渐变SiGe缓冲层的生长及其表征 总被引:4,自引:4,他引:0
采用阶跃式 Ge H4 流量增加和温度降低的方法 ,在超高真空化学气相淀积系统中生长了线性渐变组份的 Si Ge缓冲层 ,并在其上生长出了驰豫的 Si0 .6 8Ge0 .32 外延层 .俄歇电子能谱证实缓冲层 Ge组份呈线性渐变 .Raman散射谱得出上表层应变驰豫度为 32 % ,与 X射线双晶衍射结果符合得很好 .腐蚀的样品观察到沿两个〈1 1 0〉方向规律性分布、大小和螺旋走向完全一致的位错团密度约为 5× 1 0 7/cm2 .分析了位错团产生的原因 相似文献
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应用Raman散射谱研究超高真空化学气相淀积(UHV/CVD)生长的不同结构缓冲层对恒定组分上表层Si1-xGex层应力弛豫的影响.Raman散射的峰位不仅与Ge组分有关,而且与其中的应力状态有关.在完全应变和完全弛豫的情况下,Si1-xGex层中的Si-Si振动模式相对于衬底的偏移都与Ge组分成线性关系.根据实测的Raman峰位,估算了应力弛豫,结果表明:对组分渐变缓冲层结构而言,超品格缓冲层中界面间应力更大,把位错弯曲成一个封闭的环,既减少了表面位错密度,很大程度上又释放了应力. 相似文献
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为了提高现有溯源方法的安全性,提出基于区块链和蚁群算法的业务数据语义自动溯源方法。构建非中心化业务智能合约区块链,验证启动溯源程序的用户身份。利用蚁群算法自动采集业务数据,通过变换匹配投影提取业务数据中的语义信息。按照业务的运行流程,得出区块链形式的溯源链。选择提取的业务数据语义为初始位置,通过求逆转换操作读取原始输入路径,最终输出业务数据语义的自动溯源结果。实验结果表明,在单链业务和多链业务两种情况下,设计溯源方法的安全风险低于0.5%,且平均加速比高于7.0,可以满足设计要求。 相似文献