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为提高硅片研磨的均匀性,提出了一种通过改变调节砝码位置的新方法。对单砝码配重法的原理、步骤及物理模型进行了详细的论述,并基于LabVIEW软件对该方法进行了可视化。在精密研磨抛光机上进行实验,并用膜厚仪进行均匀性测量。结果表明:在给定的条件下使9.9 cm硅片的均匀性从单靠自重研磨的20μm提高到用配重法调节后的3μm,显著提高了硅片研磨的均匀性。单砝码配重法为解决硅片研磨均匀性问题提供了一种既精确又简便的方法。 相似文献
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评标质量决定中标者与招标项目的契合程度,但受经验知识和主观判断等影响,定性指标的量化过程易带有主观模糊性,从而影响结果准确度。为减少模糊因素对评标结果的负作用,引入Z-number模糊数识别定性指标的不确定性,依据熵值原理客观确定评标指标及评标专家权重,TOPSIS法集成指标值,构建基于Z-number理论的改进TOPSIS法评标模型。结果表明,提议方法不仅能明晰度量定性指标值本身的模糊程度,还实现了指标值不确定性的针对化削减。同时,在有效避免主观赋权带来的不确定性基础上,该方法也克服了指标间的不可公度性。通过示例分析与敏感性分析验证了模型的实效性与稳定性。 相似文献
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通过对衰老矿井的称谓及其基本概念的综述分析,界定了衰老矿井的概念和含义,通过对矿井衰老影响因素及相关性分析,确定采用剩余服务年限作为矿井衰老的识别指标,采用聚类分析的方法,确定了衰老矿井剩余服务年限的判断标准为:大中型矿井10 a,小型矿井5 a.在此基础上,应用衰老矿井的判断标准和影响因素,建立了矿井生命周期系统动力学模型,模型通过历史数据拟合验证,证明了系统模型能够反映实际矿井生产系统的行为特性,能够模拟矿井生产经营过程,能够判断矿井衰老拐点及预测矿井剩余服务年限. 相似文献
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程度与精度的逻辑差粗糙集模型 总被引:1,自引:0,他引:1
基于程度与精度的逻辑差需求,提出了程度与精度的逻辑差粗糙集模型,并定义了粗糙集区域概念。通过变精度近似与程度近似的转化公式,得到了粗糙集区域的基本结构,提出了计算粗糙集区域的常规算法和结构算法,进行了算法分析与比较,探索并得到了模型在决策表中的应用方向。通过该模型拓展了程度粗糙集模型和经典粗糙集模型。 相似文献