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挖槽循环加工方法研究 总被引:1,自引:0,他引:1
对用循环编程和用刀补编程并设定刀补值实现挖槽加工进行了论述,对实际生产有一定的指导意义。 相似文献
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本文通过对小音箱前面板模具的凸模进行三维造型和数控加工的研究,给出了型面三维造型和数控加工技术相结合在模具制造中的应用步骤。造型设计与数控加工有机的结合,对小型模具加工将是很好的选择。 相似文献
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基于白刚玉微粉的6H-SiC单晶基片化学机械抛光材料去除率研究 总被引:1,自引:1,他引:0
碳化硅单晶基片已广泛应用于微电子、光电子等领域,如集成电路、半导体照明(LED)等,本文根据前期的研究结果,以白刚玉微粉为磨料,通过大量的实验,研究了抛光液成分(PH值、磨粒粒径与含量、分散剂、氧化剂、活性剂)、抛光盘转速以及载物台转速对SiC单晶片(0001)Si面和C面化学机械抛光(CMP)时对材料去除率的影响。研究结果表明,在SiC晶体基片化学机械抛光时,抛光液在一定的pH值、一定的氧化剂含量、一定的分散剂含量、一定的磨粒含量及尺寸下,能够获得最佳的材料去除率;抛光盘的转速对材料去除率影响较大,材料去除率随抛光压力的增加而增大,C面的材料去除率远大于Si面的材料去除率,但无论是Si面或C面,抛光后表面无划痕,经过2个半小时的抛光,表面粗糙度达到Ra1nm以下。结果表明,氧化铝(Al2O3)磨粒可用于碳化硅单晶基片的化学机械抛光,其研究结果可为进一步研究SiC单晶片的高效低成本化学机械抛光液、抛光工艺参数及化学机械抛光机理提供参考依据。 相似文献
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