上海电子束离子阱装置真空控制系统

本文介绍了基于RS485总线结构和LabVIEW图形化软件环境的上海电子束离子阱(EBIT)装置真空控制系统,详细分析了对真空设备远程操作和数据采集以及真空联锁的实现方法。测试结果表明该系统达到了设计指标,满足了实验使用要求,目前已成功地应用在上海EBIT装置中。     

上海光源TSP＆NEG复合电源的研制

上海第三代同步辐射光源（SSRF）的动态真空要求为1．3×10^-7Pa，要获得这样的超高真空环境，真空系统配置了多台钛升华泵（TSP）和非蒸散型吸气剂（NEG）组件，针对这两种设备的工作参数，研制了一种带有计算机通信接口的复合电源，并在LabVIEW环境下开发了一套相应的控制软件，实现了对TSP和NEG的本地和远程控制。经过测试，该控制器和控制软件均已达到了设计指标，可以正式投入到上海光源项目上使用。     

对低发射度储存环真空问题的认识

低束流发射度环的ｌａｔｔｉｃｅ结构是决定真空系统设计指标和方案的重要因素之一。大量插入件使束流的库仑散射寿命成为限制气体散射寿命的主要因素，作者提出了适用于第三代光源的布泵新概念－布泵的终级目标是提高气体散射束流寿命，使环上各处的库仑散射作用截面尽可能一致和较小是提高库仑散射寿命的合理途径，为此，布泵时必须综合考虑影响处训仑散射作用截面的三个因素，即各处的真空室内高度，压力和β函数值，低发射度环磁     

SSRF电子储存环铝合金超高真空室研制

上海光源3.5GeV电子储存环超高真空室采用铝合金材料,经数控加工后焊接而成,其结构复杂,精度要求高.在预制研究中成功地完成了一段6 m长典型真空室的设计、制造与调试.该真空室的平面度达到0.23 mm,横向偏移量1.4mm,内表面单位面积出气率4.1×10-10 Pa·m/s.在研制中暴露出结构设计和加工工艺等方面的多种问题,并找到了妥善解决的方法,为工程批量生产准备了条件.     

合肥同步辐射光源储存环真空系统改造段的设计

合肥同步辐射光源安装了一台６Ｔ超导扭摆磁铁。原储存环真空系统的１／８必须由改造段更换。改造段设计中遇到了新问题，如超导扭摆磁铁发出的同步辐射光的光通路和电子束流通通道的确定，吸收同步辐射光的吸收器的设计，同步辐射光的光电解吸气载的计算，改造段真空室截面的平滑过渡的实现和超导扭摆磁铁７７Ｋ低温束流管道的特殊问题等。     

同步辐射光刻光束线的真空系统

第一条同步辐射光刻光束线已在合肥国家同步辐射实验室建成，并刻出了线宽0．2μm的图形。真空系统是光束线的重要组成部分。该真空系统要使镜箱内的压力分别小于6．7×10-8Pa（镜箱内有SR）和2．6×10-7（镜箱内无SR），以免暴露于SR的光学镜面遭受碳污染。一个装有可移动样品架的曝光室坐落在超净室中。曝光室内的压力约为10-4Pa。一个多级差分抽气系统实现了镜箱到曝光室的真空过渡。具有较大截面的差分管必须是良好的光通路。给出了差分抽气系统的计算公式和实验结果。描述了真空联锁系统的组成部分和功能。该光束线的功能还需扩展和提高，真空系统也有值得探讨和改进的问题。     

全金属超高真空快速关闭阀的设计与制造

全金属超高真空快速关闭阀（简称快阀）是同步辐射装置的重要真空保护元件。它安放在光束线的上游，如因光束线下游发生偶然事故，压力传感器将发出信号触发快阀的驱动电路，使它迅速关闭，以防止大量气体进入储存环，保护整机正常工作。我们的快阀是用弹簧机构在快速反应电磁铁的驱动下关闭阀板的，启开则由气缸提升阀板。本阀可关闭的窗口尺寸为１４ｘ１４０ｍｍ～２。包括电磁铁反应时间在内的全关闭时间为６．４５ｍｓ（其中关闭窗口的时间是２．４２ｍｓ）。在重复启闭５００多次的试验中，快阀在关闭位置时，阀板和阀座间的气体泄漏率不大于０．５ｔｏｒｒ．１／ｓｅｃ。     

大型钛薄膜吸附泵的抽速测试装置的实验

本文叙述了一种大型钛薄膜吸附泵的抽速测试方法,介绍了实验原理及测试装置。实验表明,此方法用于测试薄膜吸附泵的抽速是可行的,测得的数据是可靠的。     

Φ6毫米阳极孔层状分布式溅射离子泵

一、引言为保证贮存环中的束流寿命长达十小时,贮存环中的气压必须低于2×10~(-9)托。但是,贮存环的弯转段及弯转段顺流处存在强烈的同步辐射,辐射光对真空室壁的光电解吸作用,产生了严重的气载。因环中束流能量为800MeV,流强为300mA,辐射引起的气载要比材料热出气产生的气载高1个以上的数量级。这么高的气载,如不及时抽走,就会严重影响束流寿命,使机器不能正常运行。另一方面,贮存环的细长真空管道流导小,集中式抽气泵组