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小型低温真空光学实验装置设计 总被引:3,自引:0,他引:3
为适应未来遥感光学系统研究的需要,研制了一套低温真空实验装置.该实验装置包括低温真空腔体、真空抽气系统、ZYGO干涉仪和防震平台以及监控测温系统.其中的低温真空腔体是针对小型光学元件实验设计的,主要用于测量光学元件的温度场和低温变形,并且把电机产生的局部热量尽可能导出系统.文中还对真空低温腔的关键部件光学窗口和梯形支撑的设计进行了详细分析. 相似文献
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<正> 在丝网印刷领域,没有比真空橡皮布更为常见的话题了。但是当你了解丝印模板制造过程中的各个因素以及这些因素对丝印模板和印刷质量的影响时,你才能理解为什么这些话题值得探讨。尤为值得注意的是抽真空的重要性。因为它直接影响图像的清晰度、锐度、阶调复制、龟纹的形成和套准精度等。 相似文献
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真空微电子荧光平板显示器件的实验研究刘杰明,李志能,陈秀峰(浙江大学信息与电子工程学系)关键词:真空微电子,反应离子刻蚀一、引言近十年来,随着真空微电子学的崛起,利用微细加工技术,使真空元器件集成化和高性能化已成为可能,一种新型场致发射阵列真空荧光平... 相似文献
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微型真空力敏器件的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文首次用电荷模拟法计算了真空微电子力敏传感器的场致发射阴极与阳极间的电场分布,同时计算了<100>晶向的方形硅薄膜受压形变与压力的关系,进而得出了这种传感器的电流-压力曲线.还做了水槽模拟电场分布的实验,理论与实验符合的很好. 相似文献
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本文针对我矿四效蒸发罐运行情况,着重对芒硝型卤水制盐中Ⅰ效加热管的结垢、Ⅳ效加热管堵管问题,并对其产生的原因和解决途径进行了探讨。 相似文献