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为了满足空间衍射成像系统对大口径、轻量化衍射元件的需求,设计制作了直径为400mm的聚酰亚胺(PI)薄膜菲涅尔衍射元件。通过紫外光刻、离子束刻蚀等微细加工方法在石英基底上制作衍射图形,然后将衍射图形复制到PI薄膜上得到菲涅尔衍射型薄膜元件。结合有限元法探究了薄膜复制过程中热应力的变化规律及降低热应力的方法,分析了影响薄膜衍射效率的因素及薄膜制作误差、温度变化对薄膜成像的影响,最终实现了大面积薄膜与基底的分离,并通过局部氧气等离子体轰击提高了薄膜衍射效率的均匀性。经测试,薄膜菲涅尔衍射元件的厚度约为20μm,在波长633nm处的实际衍射效率平均值为33.14%,达到了理论效率的81.83%,衍射效率的均方根值RMS=0.01。实验结果表明,通过紫外光刻、离子束刻蚀和薄膜复制的方法可以得到大口径、高衍射效率的薄膜菲涅尔衍射元件。 相似文献
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本文主要介绍了我们研制的四台并联运行的煤气离心压缩机组的防喘振控制系统所采用的防喘振控制方法,并对并联离心压缩机机组的防喘振控制系统的原理及功能以及在煤气压缩站的应用作了描述。 相似文献
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以青岛汽轮机厂12MW双抽式汽轮机为例介绍了一种先进可靠的汽轮机监测与模糊控制系统。本系统具有操作方便、可靠等特点,监测系统具有良好的人机界面和强大的数据处理功能。模糊控制系统采用MOORE表(MYCRO352单回路数字式控制器),通过组态软件完成了对蒸汽平管压力的模糊控制,具有良好的鲁棒性,成功地解决了常规PID控制对于复杂多变、非线性、大延迟系统控制效果不佳,超调严重的总理2。 相似文献
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本文介绍了深圳公众电话网、数字数据网、移动通信网及有线电视网等信息通信网的现状,并对方向宽带化、智能化和个人化的综合业务数字网方向发展。 相似文献
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本文简要介绍了用TDK-36单晶炉拉制的较大直径(φ=25mm)、低位错(<100cm ̄(-2))的锑化铟单晶的理论和实践。通过对晶体生长室内温场,特别是内外坩埚尺寸的调整及对循环水流量的控制,成功地拉制出较大直径、低位错的锑化铟单晶。 相似文献
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计算机用户接口设计是计算机应用系统的一个重要发展方向。本文在论述了用户接口设计的理论与实现方法的基础上,设计并生成了一个在微机系统上运行的用户界面管理系统:WG-UIMS,该系统现于386档微机上,以MICROSOFT WINDOWS3.0为支持环境,是一个集文字、图形为一体的UIMS。文中着重对WG-UIMS中的接口生成工作的设计思想、理论原型、实现过程及关键性数据结构等进行了论述。 相似文献
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Teletta设备上无损伤切换开关及调制器、解调器的联合检修甘肃省电力局调度所李世望,徐向东一、引言无损伤切换开关,是大中容量1+1数字微波通信设备的一个重要组件。用它对两个Jffl道的切换,能提高系统的可靠性。但它串接在通信链路中,本身的故障可能会... 相似文献
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本文主要介绍了我们研制的离心压缩机防喘振控制器所采用的防喘振控制方法,离心压缩机防喘振控制器的原理、功能以及在高炉鼓凤机上的应用。 相似文献
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氮化硅膜具有对软X射线吸收较小、成膜光滑、强度大和致密性好等优点,因而常选作为窗口材料。本文主要介绍了用于软X射线显微术的氮化硅窗口的制备工艺,给出在国家同步辐射实验室软X射线显微术实验站使用的实验结果。 相似文献