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背景光对四象限探测器干扰的研究 总被引:14,自引:2,他引:12
给出了四象限探测器(QD) 光电探测原理,从理论上详细分析了背景光干扰下对位置探测精度的影响,得出位置误差与测量位置存在线性关系、与信噪比几乎存在反比关系,并用实验验证了分析结果。最后提出了减小背景光影响的几种措施。本文为估算由此造成的定位误差提供了理论依据。 相似文献
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提出了一种新的利用光栅尺解调一组光纤光栅布喇格波长移动的系统。当光纤光栅所受的应力或温度发生变化时,光纤光栅的布喇格波长会变化(移动)。本系统利用一组光纤光栅作为敏感元件置于被测场中;利用另一组光纤光栅作为跟踪元件,跟踪从作为敏感元件的光纤光栅反射回来的布喇格波长的移动。当作为跟踪元件的光纤光栅的布喇格波长与作为测量元件的光纤光栅的布喇格波长对准时,探测器探测到最大的光强,此时,记下光栅尺的输出作为系统的测量结果。采用数字化的方法确定反射回来的布喇格波长的峰值点,从而提高系统的测量精度,使系统的测量线性大于0.999。并利用一个测量分辨率为0.01μm的光栅尺读出系统的测量结果,使本系统对光纤光栅布喇格波长移动的测量分辨率小于1μ应变量。 相似文献
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同时测量直线导轨三维转角的系统模型 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了一种同时测量直线导轨三维转角的新方法。利用光线组合和激光准直技术,基于两个五角棱镜、两个平面反射镜、两个光电探测器,建立了直线导轨运动副三维转角测量的系统模型。通过对三维测量参数详细的理论分析,论证了所提系统模型的可行性。结果表明,在设定参数下系统的三维角度分辨率达到0.07”。整个系统结构简单,测量精度高。其结论对于系统设计提供了理论参考依据。 相似文献
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提出一种基于激光准直技术的多自由度误差同时测量方法。采用半导体激光单模光纤组件为光源,分别以角锥棱镜和分光直角棱镜作为二维直线度误差和三维角度误差的敏感器件,实现了直线导轨五自由度误差的同时测量,且测量移动部分无电缆连接。通过理论分析及实验,验证了方法的可行性和可靠性。在设定参数下,直线度、俯仰偏摆角和滚转角误差的测量分辨率可分别达到0.1μm,0.1″和0.3″。 相似文献
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