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21.
SOI技术进入工业开发时代   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文叙述了SOI衬底材料的加工和检测技术,特别着重介绍了已取得惊人进展的SIMOX(separationbyimplantationofoxygen)和BESOI(BondingandetchbackSOI)技术。论述了SOI衬底在抗辐射电路、ULSI、高温器件、双极和BICMOS器件、微波器件、高电压及功率器件、智能传感器、光电子器件的应用。最后讨论了SOI衬底材料和器件在工业开发阶段存在的问题,并展望SOI技术的前景。  相似文献   
22.
对山东某高速公路路堑边坡塌方区从设计到施工的全过程进行了详细介绍,在对工程地质情况进行调查的基础上,进行了严密的理论计算.确定了设计方案.实施过程中采用了一项专有技术“单孔分层多次高压注浆技术”加固了软弱夹层并安装了预应力锚杆。  相似文献   
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