真空系统的压强—时间曲线诊断法

应用真空系统的静态压强与时间的Ｐ－Ｔ曲线，可以诊断出真空系统存在的问题，漏气，放气和蒸汽源，这为真空设备的调试和运行提供了简便和实用的诊断手段。     

IBM—PC微型计算机与四极质谱计的联用系统

本文介绍ＩＢＭ－ＰＣ微型计算机与四极质谱计联用系统的硬件配置和软件功能，并 给出了部分数据处理结果。该系统的通用性强，性能价格比高，原则上可与各种国内外 生产的四极质谱计联用，也可以脱机作为普通微机用。     

小型四极质谱计的设计方案探讨

为推动真空四极质谱计的应用，现提出一种用户实用、性能稳定可靠、价低的真空质谱计设计方案，１）按超高真空和高真空要求分开设计质谱管；２）采用公差一致性组装四极杆；３）采用粗、长四极杆；４）充分利用离化室的高压强工作能力；５）内藏式离子流放大器；６）增强仪器电路的实用功能。最后举例了一台溅射镀膜机监控质谱计，无须配置质谱计减压真空系统和微机等辅助设计，就能进行正常气氛监控，其总投资只需常规设计的三分之     

一种新型两级组合偏转离子透镜的特性分析

本文针对射频辉光放电离子源存在较强的光辐射与中性粒子流干扰问题,提出一种新型的两极组合偏转离子透镜。这种透镜由半圆筒形偏转电极与偏心孔膜片组成。其两级偏心结构可有效抑制光辐射干扰,而半圆筒电极对离子束具有会聚作用,因而可获得较高的离子流通率。本文从理论上和实验上研究了该透镜的特点。     

一种新的电磁力驱动振膜真空计

研制了一种新的振膜真空计。量程覆盖１０＾－３Ｐａ－１ａｔｍ。该计采取用通电线圈的电磁力驱动振膜，振膜再带动另一个线圈，使其切割磁力线，从而感应出一个与压强有关的信号电压。振膜的振幅受气体分子的阻尼，压强越高，阻尼越强，振幅变小，感应信号也就越小。这种新型振膜规，比现今的静电力驱动振膜规工艺简单，参数一致性好，利于生产和降低成本。电磁力驱动振膜规可采用单膜，也可采有双膜结构，双膜规消除了现今振膜规在     

微型计算机与四极质谱计联用应注意的问题

本文对计算机与四极质谱计联用时应注意的扫描控制、跃变延时、同步消隐、D/A转换、峰强计算、质量定标、累加平均、锯齿波纹波等八个问题进行了分析,并提出了解决的方法,对微机应用于质谱仪器有一定的参考价值。随着计算机技术的发展,质谱仪器与计算机联用已日益普及。目前,在衡量质谱仪     

电真空器件残气质谱分析和贮存寿命的快速测试研究

电真空器件内的残气压强是制管和管子工作过程中管内吸气剂材料吸气后形成的平衡压强,器件击破后质谱分析室本底气体会被吸气剂吸收。因质谱分析室放出的本底气体量一般远小于吸气剂在器件内原吸收的气体量,故器件内的残气压强的新平衡值增量可以忽略,分析室本底不会影响正确的分析结果;大气漏入管内后只表现出该管内惰性气体氩的积累;据此,我们提出了充氩法贮存寿命的快速测试方法。只有吸气剂失效或吸气饱和后管内残气质谱图才反映出漏入的大气成份或分析室本底气体干扰的特征。     

质谱计样品增量法扣本底技术研究

质谱计在分析样品气体时，常采用峰高相减法来扣除本底残气的干扰，该法不十分准确，特别是作痕量杂质分析时会引起很大误差；本文提出一种新的扣除法，称作样品增量法。改变样品进样量，然后根据各成分对应离子流的增量，计算出它们的相对浓度。由于本底残气的离子流增量为零，故而消除了残气的干扰。论文首次报导了封闭离子源独有的样品气流的喷口效应，造成了电离室内本底残气压强低于质谱室中值，采用本底残气抑制系数解出了样品杂质的真实值。     

“信号调制法”研究电子诱导脱附——基本原理及误差分析

电子诱导脱附是近年来在真空科学与表面科学领域内的热门研究课题。它不仅作为研究和探讨原子激发过程以及电子能量传输机制的有效手段，而且已经逐渐成为获取表面和界面结构、状态等信息的有效方法。“信号调制法”是利用脉冲电流能量调制的电子探束取代传统的直流电子探束，并通过测量电子诱导脱附产物引起的压强变化量，来研究电子诱导脱附的新方法。本系统地介绍了该方法的基本原理，并从理论上对该方法带来的测量误差进行了分析。     

利用脉冲调制电子探束测量电子诱导脱附阈值能量

本介绍脉冲调制电子探束测量电子诱导脱附阈值能量方法的原理，同时给出该法进行电子诱导脱附阈值能量测量的实验及结果，与传统的直流电子探束测量电子诱导脱附阈值能量的方法相比，使得测量设备简化的同时，有效地提高测量的准确性和精度，使电子诱导脱附阈值能量的测量拓展到高真空的范围。