用于TSV硅衬底的碱性抛光液研究

在穿透硅通孔(TSV)工艺中,研究了碱性抛光液组分的组合方式和抛光液的稀释倍数对硅衬底去除速率的影响。分析了硅衬底的去除机理;研究了抛光液对Si/Cu去除速率的选择性;研究了抛光液的存储时间不同时pH值和硅衬底去除速率的变化。该抛光液通过在硅溶胶中依次加入表面活性剂、无机碱、有机胺碱,再用去离子水稀释15倍配制而成,并应用于TSV图形片。实验结果表明:该抛光液对硅衬底的去除速率较高,达到1.045 μm/min;采用该抛光液对TSV图形片抛光120 s后,铜柱露出2 μm;抛光液储存时间30天后,硅衬底去除速率仅损失1.3%。该碱性抛光液满足半导体制造行业要求。     

新的诠释──萧娴纪念馆建筑设计心得

文章通过对萧娴纪念馆建筑设计理念与设计处理手法的介绍和分析,试图阐明在建筑设计中追求“民族性”与“现代化”之间的辩证关系。     

微结构掺镱双包层光纤的研究

近年来掺健光纤激光器的研究有了较大发展,出现了用于高功率光纤激光器的双包层掺镱光纤(DCYDF)。双包层掺镱光纤的纤芯作为单模波导用于传输信号光。．内包层设计为多模波导用于传输泵浦光。由于微结构光纤具有可控的周期性折射率并且其模场面积可通过结构参数的调整而加以控制．因此这类光纤在光纤激光器和放大器中有着广泛的应用前景。文章作者根据高功率光纤激光器的性能要求．设计和制备了内包层为D形和六边形的微结构掺镱双包层光纤。     

东南大学建筑设计研究院机构创建回溯与认知——兼议大学设计院在产学研体系中的定位与作用

大学设计院是中国高等建筑教育及学科发展的特有组织形式,其在建筑学科产学研体系中的定位与作用值 得深入探究。回溯东南大学建筑设计研究院机构创建的历史背景和发展进程,从学科创建时期的师资队伍与自组 织设计实践、机构化设计实践与研究的组织探索以及设计院的成立与成长等方面入手,梳理其与学科建设的血脉 关联与互动关系,从而揭示大学设计院的初衷和使命正是作为产学研融合发展的重要支点。     

金属丝微结构光纤的研究进展

金属丝微结构光纤是指具有沿石英光纤轴向均匀分布着直径为纳米量级的金属丝的光纤。这种特殊结构的光纤具有传输光波以及表面等离子体波的特性,潜在用途十分广泛。介绍了金属丝微结构光纤的性质、制备方法及其研究进展。     

在艰难探索中走向成熟--原国立中央博物院建筑缘起及相关问题之分析

国立中央博物院建筑设计方案竞赛是第一中国建筑师尝试将“民族性”与“现代化”相结合的一次可贵探索,正是这种不懈的探索使得他们走向初步的后熟,梁思成在这次方案竞赛过程中扮演了重要角色。     

哲匠之路──近代中国建筑师的先驱者孙支厦研究

孙支厦是最早的近代中国建筑师,他所代表的土木工程专业出身的建筑师至今仍在中国的建筑业中发挥重要作用。他又是近代中国建筑师产生过程中的非主流的过渡性人物,在他之后才出现近代意义上的、建筑学专业出身的建筑师,但这井不影响他的历史地位。     

青春无悔——记武警慈利县消防中队战士余波

金色水枪 水枪喷涌青春的激情,警营奏响出生命的强音。