用于晶圆键合的对准标记定位算法

对准标记精确定位是晶圆键合精度实现的关键,为了提高对准标记定位算法的精度、实时性及适应性,提出了一种基于 边缘检测拟合定位的高精度对准标记定位算法。 该方法结合分级金字塔模型对对准标记进行逐级定位,获得像素级的目标区 域粗定位结果,根据目标区域粗定位结果,结合 Canny 检测器与改进的高斯拟合法,对对准标记的亚像素轮廓进行拟合,在此基 础上结合中心对称的对准标记特征,利用改进后的最小二乘法快速拟合对准标记的中心位置,实现对准标记的精确定位。 通过 实验验证了该方法的有效性,实验结果表明,提出的对准标记定位算法在快速定位目标区域的同时,可实现约 0. 06 μm 的重复 定位误差,满足了晶圆键合对准的精度、实时性和适应性的需求。     

浅析房屋建筑结构设计中常见问题

房屋建筑的结构设计是一项全面、系统,并且责任重大的工作,也是是房屋建筑施工的必要前提。在房屋建筑结构设计中,常常会因为各种的问题影响到房屋建筑结构设计的质量与水平,而发展先进设计理论,加强先进技术的应用,加快新型高强、轻质、环保建材的研究,使建筑结构设计更加安全、适用、可靠和经济是建筑结构设计的发展方向。     

双频激光干涉测量中的环境补偿技术

作为一种超精密的非接触式测量设备,双频激光干涉测量系统可以在保证纳米级测量精度的情况下实现大范围和高速度测量,因而获得非常广泛的用途。环境是影响激光干涉测量系统测量精度的最大因素,为了获得纳米测量精度,必须对测量环境进行补偿。因此,重点研究了环境补偿技术,并研制了一种新型波长跟踪器,与Edlen经验公式进行对比测试,结果表明新型波长跟踪器具有良好的补偿效果。采用自制波长跟踪器补偿之后,被测运动台伺服精度可达1.61nm。     

超精密微动台控制器带宽优化研究

为提高超精密微动台的控制带宽,改善控制性能,针对微动台模型包含机械谐振以及时滞的特性研究一种优化回路成形(Optimized loop shaping,OLS)控制器设计方法。通过回路成形方法分析得出PID控制器相位超前量不足是造成带宽受限的主要因素,并给出一种能实现高带宽的高阶控制器。利用回路成形(Loop shaping,LS)设计方法将控制器参数设计描述为优化问题,并利用遗传算法对其进行求解。将OLS控制器与试验整定的PID控制器进行试验对比,结果显示采用OLS控制器的系统的上升时间、调整时间、定位精度都有较大幅度地改善,最大超调量有所增加但仍在工程允许的范围内,表明所提出方法能够减小控制器设计对经验的依赖并有效提高地超精密微动台的控制性能。     

2002年亚洲石化工业会议综述

1　概况2 0 0 2年 5月 9日至 10日 ,2 0 0 2年亚洲石化工业会议在韩国汉城召开。来自亚洲和欧美 18个国家和地区的 70 0余名代表参加了会议。中国石化集团公司派团参加会议并做了“中国的石化工业现状和未来”大会主题发言。韩国石化工业协会主席、日本石化工业协会主席、马来西亚石化协会主席、中国台湾省石化工业协会主席、泰国石油协会执行董事、新加坡化学工业委员会主席分别在开幕式上发言。ＬＧ化学总裁兼ＣＥＯ卢岐镐 (ＮｏＫｉ-ｈｏ)先生做了题为“2 1世纪的韩国石化工业展望”、道化学太平洋区总裁ＰａｔｒｉｃｋＨｏ先生做了题为…     

磨屑定量检测技术的新发展—铁磁颗粒定量仪

本文介绍了一种利用电磁感应技术测量润滑油中铁磁性磨屑含量的方法及相应的仪器－铁磁颗粒定量仪，并在原理及主要特点方面与传统的定量测试技术进行了对比，对利用该技术监测采煤机磨损工况的实践进行了介绍。     

重视C02减排努力实现我国石化工业可持续发展

分析了国外有关CO2排放问题的研究进展和趋势,阐述了我国石化工业在减排CO2方面所做的工作与面临的问题及CO2排放情况,提出了我国石化工业减排CO2的技术途径、措施与建议.     

一种延时时间可调的时间继电器控制电路设计

延时继电器具有型式多样和时间参数多变的特性,本文根据国军标的规定设计了一种基于PIC单片机的数控可调延时继电器,可以解决上述特性给延时继电器的设计和生产带来的一些问题,并具有通用性强、延时范围宽、延时精度高、稳定性好等特点.文中从系统设计、硬件和软件方面论述了可调延时继电器的电路设计,着重对该设计的抗干扰措施和性能进行了分析.     

基于Kinect的自适应跑步机行走速度估计方法

自适应跑步机是康复医疗和人体工程学的研究热点,也是虚拟现实运动输入设备的重要组成部分。针对自适应跑步机上人体位置相对地面几乎无变化,很难通过简单的位置差分获得到人体运动速度的问题,提出了一种适应性广、无标记点、非接触式的行走速度估计方法。将Kinect采集到的人体关节点位置数据通过四元数标定、高斯滤波和三次样条插值处理后,用步长修正算法计算出行走时的步态时空参数。基于步态时空参数估计使用者在自适应跑步机上行走时的速度。在固定速度的跑步机上,通过将速度估计值与所设定的跑步机实际速度进行对比,验证了速度估计算法有效性,该速度估计算法可以适用于自适应跑步机的控制算法开发。     

基于 WEB的概念设计环境研究

在分析当前概念设计现状以及Internet应用情况的基础上,探索了基于Web环境进行概念设计的理论、方法与架构技术,并以并联机床为对象搭建了基于Web的概念设计环境,详细探讨了系统模块结构和功能,并对并联机床概念设计方法和Web技术的结合作了简单论述。