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21.
蓝宝石衬底片化学机械抛光的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
为了提高蓝宝石化学机械抛光(CMP)效果,对其抛光工艺进行了研究。采用SiO2磨料对蓝宝石衬底片进行抛光,分析了抛光时的温度、pH条件、磨料粒径及浓度,结果表明,采用80nm大粒径、高浓度的SiO2磨料,既可以保证抛光速率,又能得到良好的表面状;当pH值在10~12时,可加速蓝宝石在碱性条件下的化学反应速率,从而提高抛光速率;在30℃时,能较好地平衡化学作用与机械作用,获得平滑表面;加入适量添加剂,可增大反应产物的体积,易于提高机械作用的效果,以获得较高的去除速率。 相似文献
22.
随着集成电路特征尺寸不断缩小到14 nm及以下,钌凭借其低的电阻率、对铜高的依附性而被考虑替代传统阻挡层材料Ta/TaN。但是,钌作为阻挡层材料依然存在很多问题,如低去除速率、容易引起铜的界面腐蚀、铜钌去除的不均匀性。针对以上问题,主要从三个方面介绍了近几年的研究进展。首先,介绍了氧化剂及络合剂对钌去除速率的影响;然后,总结了针对铜钌界面腐蚀问题的研究进展;最后,阐述了国内外解决铜钌去除速率选择性问题的研究进展。此外,提出未来新型阻挡层钌的抛光液的研究应综合解决上述问题,而非单一解决,才能真正应用于生产领域。 相似文献
23.
24.
滚动直线导轨副在数控机床中得到越来越广泛的应用,同时对滚动直线导轨副的要求也越来越高,要求能长时间保持高精度状态,容易获得很高的直线运动精度,能够进行高速直线运动,噪声较低,长期工作磨损较小等等. 相似文献
25.
26.
利用催化加氢热解技术提取沉积 有机质中生物标志化合物 总被引:6,自引:2,他引:4
利用催化加氢热解技术提取了高演化沉积有机质中共价键结合的生物标志化合物,探讨了干酪根催化加氢热解反应机理,并考察了反应产物分布和影响反应的关键变量.实验表明,程序升温固定床催化加氢热解反应条件:温度上限为520℃,升温速率为5℃/min,氢压大于10MPa,氢气流量为5L/min,分散型催化剂为MoS2(Mo的质量分数为1%).实验结果表明,催化加氢热解对提取高产率、结构重排少的干酪根中共价键结合的生物标志化合物有独特作用,该方法可以应用于有机地球化学领域. 相似文献
27.
28.
大鼠吸入氡及其子体后的DNA损伤效应 总被引:3,自引:0,他引:3
研究氡及其子体对大鼠外周血单个核细胞(Peripheral blood mononuclear cell,PBMC)、肺细胞、支气管肺泡灌洗液(Bronchi alveolar lavage fluid, BALF)细胞以及脾和胸腺细胞DNA的损伤作用。雄性SD大鼠吸入氡及其子体的累积剂量分别为66、111、174工作水平月(Working level month, WLM)后,收集BALF细胞,制备肺、脾脏和胸腺组织的单细胞悬液,采用单细胞凝胶电泳(Single cell gel electrophoresis,SCGE)技术,检测细胞DNA链的断裂改变。结果表明, 大鼠吸入氡及其子体后,各照射组PBMC、BALF和肺细胞DNA链断裂的迁移长度显著增加(p<0.01)。其中, PBMC与肺细胞DNA损伤有相关性(r =0.887, p<0.01),直线拟合(R2=0.787)的回归方程为Y=0.978X-0.12。在本实验的照射剂量下,氡及其子体能引起PBMC、BALF和肺细胞的DNA链断裂的损伤。 相似文献
29.
目的 脉冲强光作为一种非热加工技术由于其高效、安全环保且能较大程度上保持食品的营养与风味,旨在探究其在低温酸奶灌装设备杀菌中的效果.方法 研究脉冲强光对低温酸奶灌装设备中不同包装容器的不同位置处的黑曲霉灭菌效果的影响.结果 实验结果表明,随着照度剂量的增加,脉冲强光对黑曲霉的杀灭效果显著增加.同一剂量的脉冲强光对不同形式的包装杀菌效果有显著的差异,塑瓶包装上的黑曲霉更难杀灭.包装容器上不同位置的杀菌效果有明显差异,其中塑杯包装的杯面底面、盖膜内面以及塑瓶包装的瓶盖侧面、底面和瓶坯口内外侧面均有较好的杀菌效果,但瓶盖螺纹处杀菌效果较差.在实际生产过程中,螺纹处的细菌较难杀灭,容易产生杀菌死角,具有一定的风险.结论 与紫外线杀菌相比,脉冲强光具有较好的杀菌效果,且穿透能力相对较强,在灌装设备中将具有广阔的应用前景. 相似文献
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