Pt对In2O3纳米线场效应晶体管电学性能的影响

氧化铟纳米线(In2 O3 NWs)因具有合适的禁带宽度、较高的电子迁移率等优异的电学性能,可应用于晶体管、存储器、传感器等而备受关注,成为研究的热点.本实验通过简单易行的化学气相沉积法生长了In2 O3纳米线,结合电子束光刻(EBL)成功制备了In2 O3纳米线场效应晶体管器件(Field effect transistor,FET),利用溅射系统在In2 O3 FET上沉积不同厚度的Pt,研究了Pt纳米颗粒对In2 O3 FET电学性能的影响.利用扫描电子显微镜、X射线衍射及光致发光光谱研究了In2 O3纳米线的形貌、组成及光学性能;利用X射线光电子能谱分析纳米线的元素化学价态和组成.通过分析沉积Pt前后In2O3纳米线FET的电学性能发现,沉积Pt纳米颗粒后场效应晶体管阈值电压(Vth)有向右偏移的趋势,开关比(Ion/Ioff)有所下降,载流子浓度降低,载流子迁移率增大.晶体管阈值电压(Vth)向右偏移可归因于沉积Pt后金属/半导体接触形成电子转移,此外纳米线的表面缺陷可以充当吸附位点,表面缺陷吸附的氧和水分子将捕获来自纳米线的自由电子,导致表面电子消耗,从而使得载流子浓度降低.研究结果表明,Pt金属纳米颗粒对In2 O3纳米线FET的电学性能存在一定的影响.     

构建和谐社会经验篇之一统筹人与自然和谐发展的着力点--对丹江口市"扶贫开发与退耕还林相结合"三年实施情况的调查与思考

国家为了整体推进人与自然和谐发展,于2002年分别在湖北、陕西、甘肃等5个省各选择了一个贫困县(市)作为"扶贫开发与退耕还林相结合"试点.丹江口市被国家纳入全国5个试点县(市)之一.现在,丹江口市的三年"扶贫开发与退耕还林相结合"取导效果、经验如何?还存在什么问题?近曰,我们对丹江口市的"扶贫开发与退耕还林相结合"三年实施情况进行了调查.     

A^2/O工艺污水处理工程设计特点分析

3万t/d污水处理工程设计采用A^2/O工艺,出水执行《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）一级A标,列举了主要处理构筑物的设计参数,并介绍了该污水处理工程的设计特点;提出了污水处理厂采用A2/O工艺设计施工时的一些注意事项及相应的改进措施。     

城市轨道交通站内换乘效率影响因素调查研究

本文将换乘时间视为城市轨道交通车站内部乘客换乘效率的深层含义,对影响乘客换乘效率的因素进行了文献调查和分析,发现轨道交通车站内部的影响因素多与车站内部的换乘设施、环境质量、空间设计等方面密切相关。并在乘客换乘效率影响因素综合分析的基础上,针对目前城市轨道交通车站乘客换乘效率研究的不足,对北京市轨道交通车站内部乘客换乘效率及空间设计问题分别进行了现场调研、专家访谈和问卷调查。最后指出乘客因车站换乘空间构型和环境质量不同所表现出的不同换乘状态对其换乘效率影响的量化研究依然有所不足,在因乘客自身主观特性影响换乘效率的科学量化研究层面仍需继续深入。     

变频器在天控系统中的应用分析

本文介绍电台天控系统改造中变频器的使用,详细介绍变频器的参数与设置方法,以及变频器的一些功能应用分析。     

机电控制与自动化学科建设的实践及发展战略

本文介绍机电一体化技术国内外发展的背景及动向。总结我们几年来在机电控制与自动化学建设和机电一体化专业建设中的探索和实践经验。并结合我省实际，提出了今后在机电控制与自动化学科的发展战略设想。     

基于嵌入式的便携式地沟油检测鉴别系统

本文根据地沟油的电导率、胆固醇含量、氧化产物等多项特征指标,设计了一种高效的基于嵌入式的便携式地沟油检测鉴别系统。     

高级温控器智能自动化装配机器

对温控器的装配过程进行合理规划,对不同的零件设计相应的拾取夹具,以保证零件唯一的状态在位移过程中不会改变.利用振动送料盘实现自动送料与排料.采用数字点位控制及机器视觉功能对零件的拾取并放入塑件壳体内铆接进行准确的控制.实现温控器装配过程的自动化,提高生产效率.     

针对重复图案晶片自动检测的新方法

具有重复图案阵列的IC在整个芯片中占有较大的比例,针对此类IC的结构特征,提出一种基于旋转不变子空间技术（ESPRIT）算法的自比较模板匹配缺陷检测方法。首先应用ESPRIT算法精确计算出重复图案中结构块的大小,然后将图像中所有结构块对应位置的像素值平均,计算出标准结构块。再根据显微镜视野大小将标准结构块进行扩展形成标准模板,通过比对实现缺陷检测。试验结果表明：采用ESPRIT算法求取结构块大小,具有较高的速度和精度,能够满足IC检测实时性要求。算法的计算复杂度为O(N的3/2次方) ,精度可以达到0.04个像素。     

重复图案晶片自动检测新方法

针对具有重复图案阵列的IC晶片结构特征,提出了一种基于旋转不变子空间技术(ESPRIT)算法的自比较模板匹配缺陷检测方法.应用ESPRIT算法精确计算出重复图案中结构块的大小,然后将图像中所有结构块对应位置的像素值平均,计算出标准结构块.再根据显微镜视野大小扩展标准结构块形成标准模板,通过比对实现缺陷检测.实验结果表明:采用ESPRIT算法求取结构块大小,具有较高的速度和精度,能够满足IC检测实时性要求.算法的计算复杂度为O(N3/2),精度可达到0.04 pixel.