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随着燃气轮机透平前t_3的不断提高,为了得到相应的高热效率,必须提高压比,目前简单循环的压比已达20~30,应用压气机前若干级可转导叶固然是使单转子压气机达到高压比的一个途径,但利用不同透平带动的双转子压气机也是达到高压比的一个有效 相似文献
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大尺寸衍射光学元件的扫描离子束刻蚀 总被引:1,自引:1,他引:0
总结了大尺寸衍射光学元件离子束刻蚀技术的研究进展。针对自行研制的KZ-400离子束刻蚀装置,提出了组合石墨束阑结构和多位置分步刻蚀策略来提高离子束刻蚀深度的均匀性,目前在450mm尺寸内的刻蚀深度均匀性最高可达±1%。建立了针对多层介质膜光栅的衍射强度一维空间分布在线检测系统以及用于透射衍射光学元件离子束刻蚀深度的等厚干涉在线检测系统,实现了对大尺寸衍射光学元件离子束刻蚀终点的定量、科学控制,提高了元件离子束刻蚀工艺的成功率。利用上述技术,成功研制出一系列尺寸的多层介质膜光栅、光束采样光栅、色分离光栅以及同步辐射光栅等多种衍射光学元件。 相似文献
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新型糖浓度检测仪的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文对基于线阵电荷耦合器件(CCD)新型糖度检测仪的工作原理、性能特点进行了分析。该新型糖度检测仪与传统目视仪相比,有稳定性好、灵敏度高、响应速度快、使用方便等优点。 相似文献