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121.
周广宏  章跃 《表面技术》2001,30(5):29-31,35
介绍了一种由纯Ni和纯A1合成的特制靶材及用射频磁控溅射法沉积NiA1涂层的新工艺。试验结果表明,该NiA1涂层呈整齐的立方晶体结构,涂层厚约10um,晶粒尺寸约10nm,且该涂层具有良好的耐磨性及与基体之间良好的粘附性。  相似文献   
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