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101.
102.
103.
HfO2薄膜的反应离子刻蚀特性研究 总被引:2,自引:0,他引:2
研究了HfO2薄膜在CHF3/Ar和SF6/Ar等气体中的反应离子刻蚀机理.结果表明刻蚀气体的组分和射频偏压对刻蚀速率有较大影响,而气体流量影响不大.CHF3和SF6与HfO2的反应产物具有较好的挥发性,Ar的引入不仅可以打破分子之间的键合促进刻蚀产物的形成,而且通过轰击加快产物从材料表面解吸,从而提高HfO2刻蚀速率.AFM测量结果表明刻蚀降低了HfO2表面粗糙度,显示刻蚀工艺对材料的低损伤. 相似文献
104.
FRP约束素混凝土短柱轴压性能的试验研究 总被引:2,自引:0,他引:2
通过对不同约束比λ'下的19个纤维环向约束加固的方形倒角的素混凝土轴心受压短柱的试验研究,表明纤维环向约束是提高柱轴向承载力、改善延性的有效的方法,同时验证了纤维的不同类型、包裹方式、混杂纤维的不同混杂匹配对加固效果有较大的影响。本文还提出FRP约束混凝土短柱的应力-应变全曲线呈“π”状,将其破坏过程分为弹性上升、弹塑性上升、持荷(强化或软化段)、下降四个阶段,曲线的形状及曲线下面积的饱满程度反映了其变形能力的提高。 相似文献
105.
进化优化算法通用框架模型研究 总被引:1,自引:0,他引:1
在对进化策略、遗传算法、遗传编程3种典型的进化优化方法分析研究的基础上,建立了进化优化算法通用框架模型,并在此框架下对3种进化算法进行描述和比较。通过对进化计算的本质并行性分析,确定在具体实现进化优化算法时采用DCOM模型的方法,为模拟进化优化理论在热力系统优化运行中的研究奠定了基础。 相似文献
106.
107.
108.
以AZl500光刻胶为例,将氧气作为工作气体的反应离子束刻蚀工艺用于光刻胶图形的灰化处理,以去除经紫外曝光-显影后光栅中的残余光刻胶。研究结果表明灰化速率有随束流密度呈线性增加的趋势。经过反应离子束刻蚀后,光栅槽底残余光刻胶被去除干净,同时线条的宽度变细,在一定程度上达到修正光刻胶光栅线条占空比的目的。用原子力显微镜检测,无光刻胶的K9基片表面在灰化工艺前后其粗糙度无明显变化。该工艺具有良好的可控性,解决了在厚基片上制作大口径衍射光学元件时残余光刻胶的去除问题。 相似文献
109.
110.
循环流化床锅炉计算机监控系统研究 总被引:2,自引:1,他引:1
通过分析流化床锅炉特点,结合解耦广义预测控制和多变量参数估计原理,设计了解耦广义预测控制器,对主蒸汽压力和床温控制回路进行解耦协调控制。在此基础上,设计了一套适合于循环流化床锅炉使用的计算机监控系统。 相似文献