化学腐蚀法制造硅微透镜列阵的实验研究

采用ＫＯＨ：Ｈ２Ｏ的湿法化学腐蚀Ｓｉ｛１００｝晶片获得了球面轮廓曲线十分好的微透镜，透镜直径可从几个微米到几个毫米，焦距和孔径之比ｆ／Ｄ可以从２．５到１０以上。文章给出了微透镜及列阵的实验测试结果和若干显微照片，对其设计与制造建立了半经验理论模型。最后，对球面的形成原理及异常焦斑形状作了讨论。     

纳米技术——市场广阔的高技术前沿

1 向微观世界进军 　　“未来科学的发展无非是继续向宏观世界和微观世界进军“--爱因斯坦20世纪80年代初,一种崭新原理的扫描隧道显微镜问世,它可以对物质结构的分子、原子作观察、测量、甚至可以进行操作,扫描隧道显微镜发明人G.宾尼和H.罗雷尔于1986年获得诺贝尔奖,标志着高科技向微观世界进军又一个新的里程碑.在这种创新的思想和方法的启发下,举一反三,世界各国科技工作者,研制了一批以扫描测头显微技术作为研究微观世界的工具和手段,比如原子力显微镜、激光力显微镜、磁力显微镜、静电力显微镜、热敏显微镜等等.……     

烟草在线检测与异物剔除系统

以无屏闪光照系统作为光源，物料通过Y—Roller均散装置摊开后高速抛出时，CCD摄像机采集到物料图像并送入PC机；在光学滤色镜组的作用下，烟草与异物的色度值拉开，以便后续的识别与剔除处理；建立中心阈值库以加快判别阈值的确定，用浮动阈值提高判别阈值的机敏度，提高系统的识别率。系统原理样机对白纸、鸡毛等典型异物的识别率可达到60％以上。     

主轴回转误差的信息特性分析

本文论述主轴回转误差的信息特性,指明了主轴回转误差的信源—信道—信宿,并推算出其信息熵的计算公式。通过对主轴回转误差的测量获得了信息,使原始不确定度得以减小,但仍有残留熵。文中推算了残留熵的计算公式、表示测量误差淹没信息作用的测量误差熵值和熵系数。最后对测量所得信号的处理及分析方法。作了讨论。     

皮卫星发展展望

随着微纳技术(MNT)及微电子机械系统(MEMS)技术的迅猛发展，卫星朝着集成度高、体积小、质量轻、费用低等方向发展。纳型／皮型卫星技术处于微纳技术及卫星技术发展趋势的最前沿，其应用前景广阔。大力开展纳型／皮型卫星及其关键技术的研究，加快其产业化进程，具有十分重要的意义。     

异物在线识别中一类支持向量机机理及实现

针对高速异物在线识别中正常物料与异物颜色差异及异物颜色随机性的特点，研究了一类支持向量机在异物识别中的特性，提出了一种基于一类超球面支持向量机的在线识别算法，通过OC-SVM确定正常物料的颜色分布，从而对异物进行识别。在求解OCSVM过程中，提出了超球面离心系数ω的概念，并采用Zoutendijk可行方向机制确定工作集，简化了序列最小优化算法。研究工作表明，该算法速度快，整体运算时间比LibSVM减少20%；识别率高，尤其对与正常物料颜色接近的异物有明显效果，与一维和三维正态拟合算法相比，整体识别率提高约8～10%。     

硅微声光传感特性的实验研究

硅微声光传感器是一种由硅微列阵簧片和光纤组合成的新型传感器，这种传感器在完成声光转换的同时对声频信号进行了并行滤波处理，可用作神经网络的并行输入，是一种光机电一体化的传感系统。本文中叙述通过纤反射强度调制技术检测硅簧片振动信号的方法；通过实验研究，完成了对声光调制信号的探测和预处理，并给出了实测数据及其分析。为实现音频编码和振动信号的实时分析，本文中还给出了采用人工神经网络对阵列传感器的输出信号进     

消除光源波动等因素影响的光纤网络补偿技术

光纤网络补偿方法是提高强度调制光纤传感器精度行之有效的方法之一，它能消除因光源波动、耦合系数的变化、传输特性的变化以及光电器件漂移等因素的影响，文中介绍了常见的几种网络补偿方法的机理，最后介绍了我们近来的工作－数字式全光纤优化网络补偿技术的研究。     

硅微加速度传感器的现状及研究方向

综述了典型的硅微加速度传感器的原理，结构和特性，分析了硅微加速度传感器中的几项关键技术和研究方向。     

精密空气静压轴系主轴的迴转精度

本文着重分析了影响空气静压轴系主轴径向晃动和轴向窜动的主要因素，提出了提高主轴运转精度的途径。对应用静压空气轴承有一定的参考。