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41.
研究了电子束、离子束作用于Al2O3表面时成分的变化,表明无论电子束或离子束都能使Al2O3发生分解,产生导电的元素Al。实验在PHI610·SAM上进行,电子束轰击下(3keV,O.5μA,入射角60°)10s就有元素Al分解出来,2min以后就达到饱和,分解析出量随时间成a(1-e-bt)的关系。离子束轰击下同样发生元素Al的分解,但当Ei>3keV时,由于剥离速率加大,溅射5min时表面Al峰反而比1min时要弱。这时表面Al含量处于分解析出与溅射剥离的动态平衡中。实验还发现了Al2O3的解析与表面成分有关(如碳的含量)。最后讨论电子束与离子束的解析机理。  相似文献   
42.
用反应离化团束(RICB)法,以低分子量聚乙烯为蒸发材料,氨气为反应气体,在NaCl(100)和Si(100)衬底上淀积C-N薄膜,透射电子衍射(TEM)分析表明薄膜中含有β-C3N4晶粒,X射线光电子谱(XPS)和红外吸收谱(IR)表明存在C,N原子的化学键合。  相似文献   
43.
有限周期梁用动力消振器抑振的特性   总被引:1,自引:1,他引:0  
本文用弯曲波方法导出了多支承梁加动力消振器位移响应的普遍表达式。理论分析发现了周期结构用动力消振器抑制振动的一些新特性:(1)仅用一个动力消振器可抑制周期结构对应传递频带内的一组共振峰。被抑制的共振峰的数量与跨距的数量和消振器的布置位置有关;(2)动力消振器调谐频率与对应传递频带的第一个共振频率相关联。当动力消振器与作用在梁上的外载荷作用在同一点时,最佳调谐频率比总是大于1,否则最佳调谐频率比小于1。  相似文献   
44.
讨论了制作大面阵矩底拱面状微透镜阵列的工艺条件,给出了氩离子束刻蚀制作红外焦平面用面阵微透镜的离子束刻蚀速率的经验关系式,通过实验获得了光电材料几种常用的氩离子束刻蚀速率与氩离子束能量之间的关系曲线,用扫描电子显微镜测量了所制微透镜阵列的微结构形貌特征。  相似文献   
45.
Double-crystal x-ray rocking curve (DCRC) and secondary-ion mass-spectroscopy (SIMS) measurements have been performed to investigate the effect of rapid thermal annealing on the interdiffusion behavior of Hg in HgTe/CdTe superlattices grown on Cd0.96Zn0.04Te (211)B substrates by molecular beam epitaxy. The sharp satellite peaks of the DCRC measurements on a 100-period HgTe/CdTe (100Å/100Å) superlattice show a periodic arrangement of the superlattice with high-quality interfaces. The negative direction of the entropy change obtained from the diffusion coefficients as a function of the reciprocal of the temperature after RTA indicates that the Hg diffusion for the annealed HgTe/CdTe superlattice is caused by an interstitial mechanism. The Cd and the Hg concentration profiles near the annealed HgTe/CdTe superlattice interfaces, as measured by SIMS, show a nonlinear behavior for Hg, originating from the interstitial diffusion mechanism of the Hg composition. These results indicate that a nonlinear interdiffusion behavior is dominant for HgTe/CdTe superlattices annealed at 190°C and that the rectangular shape of HgTe/CdTe superlattices may change to a parabolic shape because of the intermixing of Hg and Cd due to the thermal treatment.  相似文献   
46.
张家桂 《控制与决策》1994,9(6):459-463
本文提出励磁电流可自动控制的他励式双高调速系统设计方案。系统在提升特别是在下放重物时,具有较硬的机械性;在负载10-100%的变化范围内,可实现最大偏差Δnmax/nmin100%≤10%,调速范围D≥10;在满载运行条件下,可节约电能80%以上。  相似文献   
47.
田清华 《激光与红外》1994,24(1):9-13,8
综述了国外离子束刻蚀和沉积系统的研究进展,指出了离子束系统在半导体技术研究,开发和生产中的重要性。  相似文献   
48.
二元光学分束器的设计   总被引:2,自引:0,他引:2  
系统地阐述了几种二元光学分束器的基本设计理论,比较其算法以及衍射效率和再现误差,并提供了设计实例。  相似文献   
49.
高功率激光器的光束质量及其对激光加工的影响   总被引:10,自引:0,他引:10       下载免费PDF全文
丘军林 《激光技术》1994,18(2):86-91
本文介绍了光束的模式、评价光束质量的几种方法,着重介绍了国际标准化组织(ISO)提出的光束传输系数M作为评价光束质量的方法。文中还讨论了光束质量对焊接、切割加工的影响;热透镜效应对加工的影响等。  相似文献   
50.
A new finishing process for metal molds by large-area electron beam (EB) irradiation is proposed in this study. In the large-area EB irradiation equipment used here, an EB with high-energy density is irradiated without focusing the beam, and so the EB with a maximum diameter of 60 mm can be used for melting or evaporating metal surface instantly. Experimental results show that the surface roughness decreases from 6 μmRz to less than 1 μmRz in just a few minutes under proper machining conditions. The corrosion resistance of metal mold surface also could be greatly improved by large-area EB irradiation. Furthermore, the surface roughness of tilting surface close to 90° could be well improved. Therefore, large-area EB irradiation method has a possibility to become a high-efficiency finishing process for metal molds.  相似文献   
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