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使用光强标定的发射光谱(AOES)测量了CHF3/C6H6混合气体的微波电子回旋共振(ECR)放电等离子体中基团的分布状态。实验发现随着CHF3流量的增加,成膜基团CF、CF2、CH等的相对密度增大,而刻蚀基团F的密度也会增加,从而使得a—C:F薄膜的沉积速率降低。同时红外吸收谱(IR)分析表明,在高CHF3流量下沉积的a—C:F薄膜中含有更高的C—F键成分。可见在a—C:F薄膜的制备中CHF3/(CHF3 C6H6)流量比是重要的控制参量。 相似文献
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在著名的Frank—Weissenbom不等式中导数f^(k)能否被替换成一般的线性微分多项式α0f α1f^1 … αkf^(k),此前一直是一个悬而未决的问题。本文中解决了这一问题,并推广了Flank-WeiSsenbron不等式。例子表明所得定理的条件是必要的。 相似文献
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一种通用型的目标数据仿真 总被引:5,自引:1,他引:4
给出了一种通用型的雷达目标模拟器 ,它能够方便直观的产生各种特征的三维目标轨迹 ,可实时离散出目标点迹 ,为雷达数据处理及精度分析提供数据来源。目标轨迹由一组特征点定义 ,修改方便 ,应用灵活 相似文献
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MMS作为移动通信运营商最近推出的一类业务新品.受到了众多国外手机厂商的热情追捧。MMS在国内市场的成长空间有多大?手机厂商的对策是什么?本文试图运用SWOT战略分析矩阵及三点效用模型对MMS手机的市场进入机会及厂商的营销策略进行研究,旨在探讨MMS在中国市场的成功运营之道。 相似文献