Design and fabrication of a micro electromagnetic vibration energy harvester

This paper presents a new micro electromagnetic energy harvester that can convert transverse vibration energy to electrical power.It mainly consists of folded beams,a permanent magnet and copper planar coils.The calculated value of the natural frequency is 274 Hz and electromagnetic simulation shows that the magnetic flux density will decrease sharply with increasing space between the magnet and coils.A prototype has been fabricated using MEMS micromachining technology.The testing results show that at the resonant frequency of 242 Hz,the prototype can generate 0.55μW of maximal output power with peak-peak voltage of 28 m V for 0.5g(g = 9.8 m/s~2) external acceleration.     

一种超薄硅薄膜的制作方法

超薄、平整的硅应变薄膜对于制作低量程的电容式压力传感器是非常重要的。提出一种简单的超薄薄膜制作方法，利用浓硼扩散、KOH自停止腐蚀和LPCVD等关键技术，得到了厚度4μm左右的平整的Si(P )/Si3N4复合薄膜。由于内应力引起的挠度在几百纳米数量级，为制作压力传感器奠定了有用的工艺基础。     

振动式微机械陀螺的电学模拟

根据振动式微机械陀螺的动力学模型导出其等效的电学模型，并利用电路模拟工具对其进行了模拟。利用电路模拟结果，分析了陀螺的运动特性。利用这个电学模型，可以与接口电路混合模拟，优化检测电路的设计。     

基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型

本文分析了传统MEMS电容式加速度计模型的不足,根据三明治结构电容式加速度计的特点,考虑了寄生电容和热机械噪声的影响,建立了用Verilog-A硬件描述语言实现的模型。该模型与主流集成电路设计环境相兼容,具有很强的可移植性。模拟验证结果表明,该模型如实反映了MEMS电容式加速度计的工作状态,能够为设计单片集成的微弱电容检测电路提供有效的帮助。     

球销类零件自动化无损检测系统

】研制出一种球销自动化检测系统,利用表面波对球销表面质量进行无损检测,并按其质量好坏进行分类。初步实验表明该系统对球销表面垂直于轴线的裂纹和倾斜的裂纹都能收到比较好的检测效果。     

考虑传感器失效的多传感器加权数据融合算法

本文提出了一种基于信任度函数的方法,对多传感器数据进行一致性检验,然后结一致性传感器进行加权融合。仿真结果表明,该方法计算量小,能简便,快速地确定生的传感器数据。     

用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作

设计了一种可用于器件级真空封装的三明治电容式MEMS加速度传感器.该传感器被设计为四层硅结构,其中上下两层为固定电极,中间两层为硅-硅直接键合的双面梁-质量块结构的可动电极.利用自停止腐蚀工艺在中间质量块键合层上腐蚀出2个深入腔内的V型抽气槽,使得MEMS器件在后续的封装中能够实现内部真空.为防止V型抽气槽在划片中被水或硅渣堵塞,采用双面划片工艺.划片后,器件的总尺寸为6.8mm ×5.6mm ×1.72 mm,其中,敏感质量块尺寸为3.2mm×3.2mm ×0.86mm,检测电容间隙2.1 μm.对器件级真空封装后的MEMS加速度传感器进行了初步测试,结果表明:制作的传感器的谐振频率为861 Hz,品质因数Q为76,灵敏度为1.53 V/gn,C-V特性正常,氦气细漏＜1×10-9 atm-cm3/s,粗漏无气泡.     

基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器

设计了基于硅塑性变形的垂直梳齿驱动器,中央可动微镜由四组蛇形曲折梁支撑。驱动器的制作采用硅—硅键合技术,首先利用DRIE干法刻蚀技术释放可动梳齿与固定梳齿,然后通过各向异性湿法腐蚀制作的施压凸台实现可动梳齿和固定梳齿的精确自对准,最后利用硅塑性变形使可动梳齿和固定梳齿在垂直方向上产生位错,成功制作出在Z方向依靠位错梳齿实现垂直驱动的蛇形梁静电梳齿驱动器。     

基于模糊集和遗传算法的多传感器信息融合工件识别

本文首先通过模糊逻辑和遗传算法相结合的方法确定出信息的冗余度和模糊度,然后对传感器信息以最优的方法在决策级进行融合.工件识别结果表明了多传感器信息融合的优越性和该方法的可行性.