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为实现碳化硅(SiC)在300 ℃以下的低温键合,研究了以Cu和Au作为键合中间层,利用Pt催化甲酸气氛预处理金属膜表面并为键合提供还原性保护气氛的低温键合方法。首先,研究了带有Cu金属层的SiC晶片在氮气、甲酸气氛以及Pt催化甲酸气氛下的键合过程,通过对比键合强度来验证Pt催化甲酸气氛下完成带有Cu层的SiC晶片键合的可能性。其次,采用扫描声学显微镜(SAM)和扫描电子显微镜(SEM)对键合后样品进行表征,并通过改变键合温度及键合加载的压力,研究关键工艺参数对于键合强度的影响。最后,对比了Cu,Au两种中间层金属在不同气氛下的SiC-SiC键合效果。研究结果表明:相比不含甲酸的N2气氛以及未经过Pt催化的甲酸气氛,经过Pt催化的甲酸气氛能够更好地还原Cu表面的氧化物,实现带有Cu金属层的SiC-SiC低温键合;SEM、SAM测试表明键合界面无明显空洞,键合效果良好;与使用Au层的SiC样品相比,在低温下基于Cu中间层的SiC样品键合强度显著高于Au中间层的样品,显示了本方法对还原表面主要为氧化物的金属层键合的优越性。本方法利用Pt催化甲酸气氛预处理Cu表面并为键合提供还原性保护气氛,在200 ℃时获得了12.5 MPa的剪切强度,实现了高强度的SiC-SiC低温键合。 相似文献
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对照70年代我国大化肥相继从德国引进的P.HB门式扒料机,概述了海南富化学工业公司90年代从意大利引进的NOVA门式扒料机的设计特点运行情况,并对该的基本性能、考核结果、等作了小结。 相似文献
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双面绒毛圈布(又称摇粒绒)是近年来较流行的产品。文中在760mm筒径、19G的毛圈机上采用11.1tex低弹性涤纶加工丝与18tex涤纶短纤纱交织,选择毛圈高度为2.5mm,这样可使剪毛损耗最少,摇出来的绒粒适中,毛粒均匀。采用高温高压染色机染色,并选用抓毛机、剪毛机、圆筒蒸汽抛干机以及法国定形机进行后整理。 相似文献