硅/玻璃紫外固化中间层键合

利用玻璃的透光特性和紫外固化的成熟技术,研究了一种使用紫外固化胶作为中间层的玻璃/硅室温键合工艺.通过选择一定波段的紫外固化胶,旋涂紫外胶后使用365nm光刻机作为紫外光源控制紫外固化,从而实现了硅/玻璃的中间层键合.分析测试结果表明,紫外固化辅助的中间层键合可以成功应用于硅/玻璃键合,中间层厚5～6μm,键合强度达到26MPa.该工艺只需室温条件,简单高效,成本低廉,无需额外的压力或电场,对于硅/玻璃低温键合封装具有潜在的应用价值.     

圆片直接键合界面表面能测试研究

基于裂纹传播扩散法,研究了键合圆片的表面能计算方法,推导出包括圆形、矩形、三角形等形状样品的平均表面能计算公式,并应用于硅片直接键合的表面能计算.应用实例表明,上述公式能方便地计算出键合圆片的平均表面能,实现对键合质量的检测和评估,进而可以指导和优化圆片直接键合工艺.     

往复压缩机状态监测系统的设计与实现

论述了一套往复压缩机状态监测系统的系统结构，软硬件设计及其实现。该系统采用Visual C 和Matlab混合编程的方法，具有界面友好，使用简单，操作方便的特点。     

用于柔性机械手的形状记忆合金驱动器滑模控制研究

提出了一种新型结构形式的形状记忆合金驱动器——内嵌式形状记忆合金驱动器。该驱动器将U形回复形状记忆合金丝嵌入弹性硅胶棒内，通过温控方式实现驱动器的往复可逆弯曲运动，对外稳定输出力和位移。研究了驱动器运行机理，探讨了基于形状记忆合金电阻反馈的变结构滑模控制策略，进行了仿真和实验研究。     

高压输电线路巡线作业机器人的动力学建模

分析了高压输电线路巡线作业机器人的结构特征,用Lagrange方法建立了多刚体系统动力学模型。基于此动力学模型,对一种典型工况进行了动力学正问题仿真,验证了该模型的正确性。     

乙醇气敏传感器及敏感度测试

二氯化锡具有灵敏度高，工作温度低、电路简单、造价低廉等特点，广泛用作硅基微结构气敏传感器的气敏材料。在二氯化锡薄膜中有意识地掺入适量催化剂，可提高气体敏感度，本文开展乙醇气敏机理的研究、进行气敏薄膜制备和掺杂后敏感度测试。     

高阶Coiflet小波系构造与应用

利用改进的Coiflet设计算法,得到了阶为12,14,16,18,20的高阶Coiflet滤波器系数。通过与Daubechies构造的低阶Coiflet滤波器系数的比较,改进算法的计算结果更精确。对高阶Coiflet滤波器的相频特性进行了计算和验证,结果表明高阶Coiflet的尺度和小波函数图形与低阶基本相似。小波滤波器线性相位特性比尺度滤波器好。尺度滤波器相位线性差,而小波滤波器相位近似线性。随着Coiflet阶数的提高,小波滤波器线性相位变化更快。尺度滤波器相位在低频段近似为0。给出了5个新的高阶和具有更高精度的5个低阶Coiflet滤波器系数表,同时还给出了构造高阶区间Coiflet尺度函数的应用。     

基于低温直接键合的血细胞计数芯片结构制备

研究了一种新颖的微流管道血细胞计数器的结构及其工作原理,采用流体动力学对其液体分层流动特性进行了仿真分析,结合图形制备和低温直接键合工艺制作了硅基微流体管道血细胞计数器结构,并采用红外透射方法对微流体管道结构进行了检测.对封闭管道的流通性及结构的键合强度也进行了测量.研究分析表明,采用上述工艺制备的微流体芯片结构与电子器件兼容性好,具有良好的化学惰性和热稳定性,而且管道结构规则,精度高,键合界面层薄,具有较好的应用前景.     

基于小波灰度矩向量与连续马尔可夫模型的轴承故障诊断

根据机械设备故障诊断本质特征和连续马尔可夫模型（cHMM）所具有的较强的时序模式分类能力的特点,提出了一种基于小波灰度矩向量与CHMM的滚动轴承故障诊断方法。从轴承振动信号提取一种量纲一的小波灰度矩向量作为特征参数,并训练几种故障状态的CHMM,再运用训练好的CHMM进行轴承的状态监测与故障模式的识别。诊断与对比实验表明该方法在故障样本少的情况下仍能进行准确训练与诊断。     

高精度贴片机自动定位的快速算法

在简要介绍高精度自动倒装贴片机的原理和实现过程的基础上,阐述了一种快速的高精度的自动定位算法。该算法的基本思想是先用LOG算子得到像素级边缘,再用插值方法得到其亚像素边缘,然后用SUSAN角点检测法提取精确的特征点,最后用VanWamelen算法实现快速点模式匹配。它能在输入标记缺损或遮挡的情况下快速有效完成对准,而且精度较高。