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研究了衍射效应对SU-8胶紫外光刻尺寸精度的影响。根据菲涅耳衍射理论建立了紫外曝光改进模型,预测微结构的尺寸,分析了光刻参数变化对尺寸的影响。为了更好地与数值模拟结果进行比较,以硅为基底,进行了SU-8胶紫外光刻的实验研究。实验分四组,实验中掩模的特征宽度分别取50 μm、100 μm、200 μm和400 μm,SU-8胶表面的曝光剂量取400 mJ/cm2。用扫描电镜测量了微结构的顶部线宽、底部线宽和SU-8胶的厚度,用MATLAB软件对紫外曝光过程中SU-8胶层内曝光剂量的分布情况进行了数值模拟,数值模拟结果与实验结果基本吻合。数值模拟结果为进一步的实验研究提供了光刻参数的参考值。 相似文献
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The spin-reorientation transition of intermetallic compound DyMn6Sn6 was investigated by applying the molecular field theory. The temperature dependence of easy magnetization direction of compound and the magnetic moment directions of Dy and Mn ions were theoretically calculated and they have good agreement with the experimental data. In the framework of single ion model, the temperature dependence of magnetocrystalline anisotropic constants K1R and K2R of Dy ion were also calculated. The results show that the fourth-order crystal field parameter, B 40, and the corresponding second-order magnetocrystalline anisotropic constant, K2R, of Dy ion must be taken into account in order to explain the spin-reorientation transition satisfactorily. The competition between K2R and K1R plays a key role in the spin-reorientation transition of DyMn6Sn6. 相似文献
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连日来,河南省沁阳市农机监理所采取多种得力措施,预防非典型肺炎.一是搞好宣传.在业务大厅设立咨询台,印发防治非典型肺炎的宣传资料,向机手宣传预防非典型肺炎的知识和方法,增强预防意识. 相似文献
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为深入分析沸腾两相流动振荡诱发沸腾临界的影响特性,本文以去离子水为工质,横截面19 mm×19 mm、中心为外径9.5 mm的单棒通道为研究对象,通过在不同热工参数下开展沸腾两相流动特性可视化实验研究,结合汽泡行为和汽-液界面特性,分析流动振荡诱发沸腾临界的影响特性。研究结果表明,低压力、低质量流速和低入口过冷度下,极易出现流动振荡,并导致沸腾临界提前发生,此时的临界热流密度与稳定工况下相比明显偏低;随着壁面热流密度不断增加,流道中两相流型先后出现泡状流、弹状流、合并弹状流、搅混流、剧烈搅混流、不稳定环状流;当流动出现剧烈振荡时,流道存在回流;发生沸腾临界时流道压降波动最大,对应的流型为不稳定环状流。因此,单棒通道内流动振荡可能会导致沸腾临界提前发生。 相似文献
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1 事故经过 2000—11—19,某热电厂5号锅炉因引风机振动大,需停甲、乙侧引风机并进行吹灰。 11:30,工作负责人王某将工作票交到运行主控室。运行人员作好甲侧引风机安全措施后,安排锅炉0m值班人员陈某到现场监护工作。 相似文献
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