SU-8微针执行器的研究

设计和采用MEMS工艺技术制作了一种由电磁驱动的微量取样执行器。执行器的结构包括微针、通道、反应室、电极以及永磁微阵列等。通过外部磁场可以实现双向线性驱动。本文主要介绍了利用SU 8光刻胶材料 ,采用多级曝光实现 3D结构的工艺技术 ,研制出了微针执行器的雏形器件。微针的尺寸为 6 0 0 μm× 80 0 μm× 4 0 μm ,微针孔径截面为 2 0 μm× 2 0 μm ,并给出了SEM分析的研究结果     

唐家庄徐家楼主井提升绞车减速器选油计算

<正> 一、技术参数 1.绞车 JKM2.8×4(Ⅳ) 2.减速器 ZHD_2R—120(Ⅱ)i=11.5 圆弧齿,法向模数Mn=14 端面模数Ms=14.814, 螺旋角β=19.88°, 齿轮材质48SiMn_2VR, 扭矩28/42t—m(静/动)。 3.电动机IRE—800—8,800kW×2(双机拖动),740转/分。 4.选油计算的其他参数如图1所示。     

可筛选乳胶微粒的介电泳陷阱和微马达: 从分立单元到片上实验室

提出了可分析、筛选乳胶微粒的介电泳陷阱与微马达,并以此为核心单元讨论了片上实验室的组建。设计了可集中样本预处理、分离筛选与微马达驱动等多个功能于一体的微分析芯片,并优化了各分立单元的作用效果。用新的螺旋-叉指和螺旋-城堡电极代替传统的螺旋状或者叉指、城堡状电极,可以不必借助电渗流的作用分开大小不同的乳胶微粒,分离效率达90%以上。当激励信号为驻波时,样本分离电压比普遍使用的行波信号降低50%。对于起介电泳筛选作用的城堡状电极进行了侧向和轴向的非均匀化处理,提高了对微粒尺寸的敏感性,可以将70%的小微粒从混合液中分离。有限元分析和实验结果表明,与参考文献中提到的芯片结构相比,电极的新排布方式增加了轴向场强梯度,分离电压比传统方法降低了80%。另外,微马达和探测电极的集成,为旋转性质的测电学量提供了便利。     

应用SU-8粘合技术的微型压力、温度和湿度集成传感器

压力、温度和湿度集成传感器具有体积小、成本低和可批量生产等优点,在环境监测和工业控制等领域应用广泛。基于微机电系统(MEMS)技术,本文设计和制作了一种尺寸为5.5 mm×3.5 mm×0.8 mm的高精度压力、温度和湿度集成传感器。该集成传感器由SU-8真空粘合技术制作的铂压阻压力传感器,铂电阻温度传感器和电容式湿度传感器组成。介绍了该集成传感器的设计思想、结构和制备过程,给出了实验和测试方法。结果表明,压力传感器的精度优于0.05%;温度传感器的精度为0.3%;湿度集成传感器的量程为25%RH~95%RH,其性能曲线的线性相关系数为0.998。集成传感器中的这3种传感器的高精度表明该集成传感器的制作工艺具有良好的工艺兼容性。     

谁来做"苏打水"的英雄?

在沈阳、哈尔滨饮用水市场终端的调研中,我们发现除了利润之外,经销商比较关心的问题是产品的广告. 当年乐百氏的"27层净化"也许是当代中国广告创造出来的最经典的理性诉求广告了,这是一个极其准确鲜明的"USP",给人以鲜明的记忆.当然,这并不算多么独特的概念,但乐百氏先提出来了,并在整个广告战役中把这一概念表达到了极致,所以也就完完全全独享了一个概念.     

基于三层悬臂梁结构的电容式风速传感器设计

为解决传统电容式测风传感器的输出非线性,设计了一种基于MEMS微机械加工技术的电容式风速传感器.传感器的敏感结构创新性地采用了一个三层结构的悬臂梁,这种三层结构的悬臂梁构成了一个平行板电容器.风力作用于传感器敏感结构引起电容器的极板面积、极板间距以及绝缘层介电常数的变化,从而引起电容器输出电容的变化,通过测量传感器输出电容的变化值可以实现风速的测量.基于流体力学原理和多层悬臂梁理论对传感器进行了理论分析,并为传感器设计了制作工艺流程.     

基于光纤传感的生理参数监测系统研究

常规生理参数监测系统由于测量时接触皮肤,因此舒适感差、个体依从性差。为解决上述问题,该文基于生理的微弱运动可致光纤微弯曲变形进而致光强度发生变化的原理,研制了新型的基于光纤传感的生理参数监测系统。该系统通过光探测器自适应地检测细小的光强变化获得心冲击图(BCG)信号,利用信号处理算法获取心率、呼吸率和体动等信息;把光纤嵌入床垫或坐垫设计为三明治结构,既保护了光纤又增强了系统的可靠性和稳定性;采用蛇形返折走线将光纤均匀地分布在垫子中间,使系统具有高灵敏度。通过多家医院临床标准方法对比测试可得在95%的置信区间(±1.96SD)内该系统心率均值误差为–0.26±2.80次/min,与标准值之间的相关性为0.9984;呼吸率均值误差为0.41±1.49次/min,与标准值之间的相关性为0.9971。实验表明,研制的系统可在零负荷的状态下无感进行生理参数测量,在健康医疗领域具有广泛的应用前景。     

基于MEMS工艺的硅基四电极电导率与温度集成传感器芯片的研制

水参数的集成测量是水资源保护和海洋科学的基础,具有重要的意义.基于MEMS技术设计了流程简单、易于制备的铂电阻式温度传感器与圆环形四电极式电导率传感器集成芯片,采用专用的温度检定箱和双运放结构的测量电路分别对集成芯片的温度部分和电导率部分进行测试,得到了较好的测量结果.良好的线性曲线有利于后续的标定与应用.这款集成芯片...     

腕表式睡眠呼吸暂停监测系统设计

设计了一种便携的腕表式睡眠呼吸暂停监测系统,避免了住院监测带来的高费用和低舒适度.以STM32为处理核心,通过控制传感器,实时监测用户的呼吸气流、血氧饱和度、心电图和胸腹运动情况,判断是否发生了呼吸暂停,记录并显示整晚呼吸暂停的总次数,同时将所测生理参数通过低功耗蓝牙发送到智能手机或平板应用程序,供医生进一步分析.将系统与标准多导睡眠仪测试结果对比,两者测得的呼吸暂停低通气指数(AHI)相关性和一致性较好.系统简便实用、测量结果可靠,扩大了睡眠呼吸暂停综合征的筛查人群.     

无线传感器网络节点能量供应系统设计

在影响无线传感器网络的生命周期的众多因素中,节点的能量是其中最为重要的.节点的功耗、布撒环境以及具体应用等因素,都对节点的能量供给有重大影响.本文分析了当前基于能量挖掘的节点能量供应系统,并提出了改进的无线网络传感器能量供应系统,实现了利用环境能量为无线网络传感器节点永久供电.