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101.
目的 研究高质量单晶金刚石外延生长工艺。方法 使用X射线白光形貌束分析了等离子体表面刻蚀处理前后单晶金刚石位错密度的变化,随后使用等离子体刻蚀预处理工艺,通过改变沉积温度研究了其对金刚石质量的影响。为了表征温度对单晶金刚石质量的影响程度,使用拉曼光谱和X射线衍射摇摆曲线等方法分析了单晶金刚石质量以及位错密度的变化情况,进而确定沉积高质量单晶金刚石最佳的沉积温度。结果 X射线白光形貌束结果显示,未进行氢氧等离子体表面刻蚀的籽晶生长之后,由于表面微加工、抛光引入的位错或者微裂纹,导致生长层位错增多;同时,氢氧等离子体表面刻蚀实验结果显示,刻蚀时间并非越长越好;使用刻蚀处理过的单晶金刚石籽晶进行不同温度外延生长实验,籽晶刻蚀后生长的金刚石拉曼峰位均在1332.5 cm?1附近,半高宽为2~3 cm?1之间。在900 ℃沉积之后,X射线摇摆曲线半高宽仅为0.009。结论 使用氢氧微波等离子体刻蚀单晶金刚石,800 ℃刻蚀40 min,可以基本消除因微加工或者抛光引入的位错或者缺陷。经过刻蚀处理的籽晶在900 ℃制备出的单晶金刚石质量最高,位错最少,可以满足高质量单晶金刚石的制备。 相似文献
102.
以乙酰丙酮铝为前驱体,N,N-二甲基甲酰胺为溶剂,采用静电辅助的气溶胶化学气相沉积(ESAVD)方法,在Si(100)衬底上制备了Al2O3薄膜,并采用场发射扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪和自动划痕仪等设备对制备的薄膜进行了表征。结果表明:采用ESAVD法制备的Al2O3薄膜平整致密而且晶粒细小,薄膜与基体之间及薄膜内部都未出现开裂现象;薄膜与基体的结合力约为5.56 N;沉积得到的薄膜为化学计量比为2∶3的氧化物薄膜;退火前的薄膜为非晶态,在1 200℃退火保温2 h后薄膜转变为-αAl2O3。 相似文献
103.
104.
105.
106.
采用微波CVD法对硬质合金表面金刚石的形核和金刚石薄膜的沉积进行了探索性研究,用激光喇曼谱仪对金刚石进行表征。研究了在硬质合金工具衬底沉积金刚石薄膜的结合强度。 相似文献
107.
采用100kW级直流电弧等离子喷射法进行金刚石膜沉积,阐述了氩气对维持电弧稳定的重要作用,讨论了氩气流量对衬底表面轰击的影响,氩气流量和不同电弧分区对形核期金刚石表面形貌和晶粒尺寸的影响,以及时间和不同预处理方式对金刚石形核密度的影响。结果表明:随着氩气流量的增加,氩气对衬底表面的轰击作用增强,金刚石膜表面形貌呈现从(111)到(100)的变化规律,金刚石晶粒尺寸减小,晶形变得不完整;弧边位置(100)取向更明显;使用金刚石微粒对衬底进行研磨预处理能显著提高金刚石的形核密度。 相似文献
108.
用100 kW级直流等离子体喷射系统制备金刚石自支撑膜,采用机械研磨方法对其进行平坦化加工。实验研究了不同研磨盘转速和不同压力对研磨的影响,分别用扫描电镜、数显千分表和X射线光电子能谱仪对金刚石膜研磨前后的表面形貌、厚度和金刚石去除机理进行了表征和分析。结果表明:研磨的转速和压力对膜的表面形貌和磨削速率影响非常明显,研磨盘转速为40 r/min,压力为0.50 MPa时,研磨效果较佳,磨削速率达到了80.5μm/h;研磨后的金刚石表面未发现有铁元素存在,金刚石的去除机理主要为微切削和应力诱导的金刚石膜局部石墨化。 相似文献
109.
吐哈盆地鲁克沁稠油聚集带三叠系稠油主要有两个成藏期,但各成藏期保存条件不一,导致油气稠变方式不同。中侏罗世西山窑期第一成藏期构造带高部位暴露地表,原油遭受地表水影响和严重的生物降解和散失,普遍出现25-降-藿烷;第二成藏期在白垩纪末以后,整个构造带普遍接受沉积,埋藏持续加深,构造活动平稳,但因圈闭类型差,本期成藏原油也发生稠变,主要是以轻组份散失和水溶散失为主,含蜡量相对较高,稠变类型属于运移残留稠油;目前保存的油气主要为第二成藏期聚集。两期稠变油气混合使三叠系油藏原油总体呈现轻微“降解”。据此分析,第二成藏期及其以后,油源条件和油气保存条件好,构造带东部高部位的前侏罗系风化壳具有良好的勘探前景。 相似文献
110.
过滤电弧沉积的TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜 总被引:6,自引:1,他引:6
用过滤电弧技术在高速钢表面沉积了TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜,用扫描电镜(SEM)观察了截面和断口形貌及划痕后的形貌。使用俄歇电子谱仪进行剥层成分分析,用纳米压痕仪测试了多层膜和单层膜的显微硬度和弹性模量。结果表明,在调制周期大于l00nm时,多层膜的显微硬度符合Ha11—Petch关系,在80nm时,则脱离线性关系。划痕法测试多层膜的结合力达到80N。 相似文献