光刻机的分辨率和对准特性研究

本文以PLA－501F光刻机为例,研究如何使光刻机的分辨率和对准精度得到充分发挥。指出了光源、光刻胶、滤光片和主物镜的相互匹配是充分发挥光刻机分辨率的关键问题;在提高光刻工件的对准精度方面,牵涉到母板的套准图形设计及对准时的技巧。本文还分析了接近式曝光和接触式曝光的主要优缺点。     

光盘机刀口法聚焦伺服分析

本文提出了刀口法聚焦误差信号检测的衍射理论，解释并分析了在光盘驱动器中影响刀口聚焦误差信号提取的主要因素。     

一种莫尔法测量焦距的改进方法

利用Talbot效应和莫尔技术的莫尔偏折术可用来测量相位物体。本文中,我们用新的理论分析和实验装置研究并论证了用这种方法测量透镜焦距的问题。 当两块光栅的栅线相互平行时,就形成莫尔游标条纹,透镜的焦距可以通过测量游     

通过光谱强度推算光栅透过率函数

计量光栅的应用日趋广泛,而对其本身的研究测试,以前较为集中于全长的积累误差、直流电平漂移及相位漂移等方面。对计量光栅透过率的理论描述,论著较多,但对实测方面的文章较少。本文采用测光谱强度     

莫尔偏转法测量相位物体的研究

本文从几何光学和傅里叶光学中最基本的公式出发,推导出用莫尔偏转法测量相位物体的基本公式,为用莫尔偏转法测量相位物体提供了处理实验结果的理论依据,并对轴对称火焰温度分布进行了实测。     

圆光栅直径误差数字化自动检测

本文在数字化莫尔条纹轮廓采集和微处理机数字处理基础上提出了一种新的圆光栅直径误差检测方法,从而实现圆光栅的自动化快速检测,以软件功能代替了一些原来由人工、机构、硬件等部分所完成的工作。在数据平差处理意义下实现了信号质量的改善和高精度信号二次细分及鉴相,信号鉴相基准选在信号平均幅值处,由于信号的数字化,鉴相基准得以在幅值平差平均下跟踪。圆光栅的直径位置定位由CTC定时计数来完成,圆光栅偏心用对径鉴相值相叠加来克服。另外由于软件的灵活性,此方法通用性较强。这种数字化方法的采用还有利于圆光栅多个指标的同时检测。     

国外数显装置和计量光栅生产情况简介

近年来,机械制造行业发展的总的趋势是朝着提高机床效率、检测精度和自动化程度等几个方向发展;数字控制技术能够比较全面地完成上述几项任务。因此,在机械制造行业中数字控制技术起着日益重要的作用。经过二十多年来的发展,数字控制技术已经具有非常丰富的内容。目前,凡是需要调整和测定空间位置的机械装置都可以考虑采用数字控制和数字读出系统。     

CMOS图像芯片的性能与应用

1 枢图 CMOS图像芯片,又称CMOS图像传感器或CMOS摄像机,它是由像元阵列（Pixel Array）和处理电路组成,形成一个完整的摄像系统。其示意图可见图1,该图像芯片（camera on a chip）中的处理电路,有行、列选通逻辑、时序与逻辑,模拟信号处理器（ASP）及模数转换器（ADC）等组成。其中定时和控制电路限制信号读出模式、设定积分时间、控制数据输出率等,模拟/数字转换器可以有像素级、列级和芯片级,即芯片有一个单一高速的A/D转换器,列级使用多个较低速度的A/D转换器,而像素级则使用多个低速A/D转换器,CMOS图像传感器图像信号有几种读出模式:整个阵列逐项扫描、窗口感兴趣读出、跳跃式-每隔一个（或两个或更多个像元）像元读出,即允许图像抽取,以增加读出速率。     

计量光栅制造综述

计量光栅作为一种重要的传感器件,广泛应用于工业生产的诸多领域。系统介绍了计量光栅的种类,重点介绍了国内外光栅制造的主要方法、光栅复制工艺以及衡量光栅质量的基本指标和检测方法。     

计量光栅衍射性能测试

本文介绍一种测定计量光栅衍射性能的装置和测定的数据,比较了理论值和实测值,并讨论了产生误差的原因。