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991.
本文讨论了用辉光放电法制备氮化硅薄膜时衬底温度、射频功率和气体流量比对薄膜的电导率、介电常数和击穿强度的影响。通过优化生长条件,制备了优质非晶氮化硅薄膜,其介电常数为7.5、击穿强度为5.5MV/cm、电导率为10-13(Ωcm)-1。 相似文献
992.
993.
磁控溅射WO3薄膜特性研究 总被引:4,自引:0,他引:4
用磁控溅射法制成WO3薄膜,通过改变成膜的溅射参数来改变WO3薄膜的性能.利用XRD分析了样品的粒径大小,研究了成膜工艺参数对气敏元件性能的影响.结果表明,薄膜中WO3晶粒的平均尺寸为17 nm,该传感器对NOx气体有非常好的灵敏度和选择性,对体积分数为1×10-5的NOx气体灵敏度高于50倍,而对其他干扰气体的灵敏度小于2倍. 相似文献
994.
995.
病险水工建筑物可靠性评估方法初探 总被引:4,自引:0,他引:4
水工建筑物可靠性评估是水利工程管理中急需解决的问题,将水工建筑物分解为由分部工程组成的层次结构,引入子系统概率重要性系数,用层次分析法导出水工建筑物系统可靠度指标的实用计算方法。 相似文献
996.
Soils and rocks are the predominant source of indoor radon (Rn) in southern Belgium. We have studied the correlations between geological features and indoor Rn concentrations using an indoor Rn data set of approx. 1700 short-term measurements. The sediments in the study region are divided into 11 geological series or 43 stages and 16 rock types. The results show a striking relation between indoor Rn concentration and the geological factors. 相似文献
997.
一种新的基于极大似然估计的系统辨识方法 总被引:1,自引:0,他引:1
进化计算是一种基于自然选择和自然变异机制的并行随机优化算法。由于递推极大似然估计法难以实现性能指标函数的全局寻优,所以本文提出了将改进的进化计算用于系统参数辨识的方法。计算机仿真结果表明,该算法能够实现似然函数的全局寻优。 相似文献
998.
999.
本文报导了LEC法半绝缘砷化镓单晶中含碳量对SI-GaAs热稳定性的影响。在800℃以上退火,发现当晶体中C含量大于1.5×10~(16)cm~(-3)时,SI-GaAs的热稳定性变差;而C含量小于5×10~(15)cm~(-3)时,通常表现出良好的热稳定性。 相似文献
1000.
介绍姚河坝水电站由于前期的地质勘探工作深度不够,在厂房后边坡、调压井和引水隧洞下段的施工过程中地质条件所发生的重大变化及具体处理措施,通过分析对工程投资和工期的影响,总结了其中的经验和教训。 相似文献