电感耦合等离子体CVD室温制备的硅薄膜的结构研究

用内置式单圈电感耦合等离子体化学气相沉积(ICP-CVD)方法在室温下制备Si薄膜.用傅里叶红外吸收光谱、喇曼光谱、原子力显微镜和分光椭圆偏振谱等测量分析表明,即使在室温下用ICP-CVD也获得了有纳米结晶相的Si薄膜,样品结构与源气体SiH4浓度密切相关.实验结果预示着在高电子密度的ICP-CVD过程中,活性原子集团的形成以及薄膜的生长机理与传统的等离子体CVD过程不同.     

基于启发式算法的集装箱配载问题的研究

集装箱配载是一个复杂的组合优化问题，属于NP完全问题，求解难度大．在考虑实际应用中的约束条件下，采用整体装填、空间分割、装载间隙合并等策略，提出了一种基于启发式算法的集装箱配载问题的解决方案．运用举例和对比分析验证了该算法的有效性，能够直接应用于物资的集装箱配载．     

基于双目视觉的工业机器人运动轨迹准确度检测

针对工业机器人运动轨迹准确度检测困难的问题,提出了一种基于双目视觉理论的检测方法。根据空间解析几何学中点、线和面三者之间的约束关系,建立了基于直线特征匹配的工业机器人运动轨迹位姿视觉检测模型。基于此模型对一种典型六轴工业机器人运动轨迹的位置偏差和姿态偏差进行了测量。测量结果表明采用这种方法的测量系统结构相对简单,能够方便地进行工业机器人动态轨迹准确度的测量。     

GSM无线网络发展策略分析

现阶段,对大多数GSM运营商来说,如何升级网络和开拓新市场以满足未来宽带无线数据需求,变得越来越迫切。本文分析了GSM演进的路线,以及现阶段GSM网络的现状,重点对GSM网络建设策略进行了分析。     

ReStation三维配筋系统在导流隧洞工程中的应用

受水力学条件、结构稳定要求等因素影响,导流隧洞进水口结构型式一般较为复杂,结构配筋存在较大难度。以杨房沟水电站导流隧洞工程为例,通过ANSYS有限元计算确定结构配筋参数,再输入至Re Station三维配筋设计系统,通过智能钢筋抽图准确绘制施工图纸,有效地解决了复杂进水口结构大体积混凝土的配筋问题,可为其他类似工程提供借鉴。     

温岭市物业管理的改革成效与完善对策

近年来,温岭市在物业管理方面始终以深化城市管理体制改革、提高小区服务水平为指导,以提高人民群众生活质量、改善居住环境、维护社会稳定为宗旨,以建立专业服务、民主管理和行政监督结合的物业管理机制为主要目标,以抓好服务、加强管理为重点,使温岭市物业管理水平和从业人员素质不断提高,逐步得到了广大业主的认可,为提高城市管理水平,搞好社区建设起到了积极的作用。     

Study on deposition of Al2O3 films by plasma-assisted atomic layer with different plasma sources

In this paper,A12O3 thin films are deposited on a hydrogen-terminated Si substrate by using two home-built electron cyclotron resonance (ECR) and magnetic field enhanced radio frequency plasma-assisted atomic layer deposition (PA-ALD) devices with Al(CH3)3 (trimethylaluminum,TMA) and oxygen plasma used as precursor and oxidant,respectively.The thickness,chemical composition,surface morphology and group reactions are characterized by in situ spectroscopic ellipsometer,x-ray photoelectric spectroscopy,atomic force microscopy,scanning electron microscopy,a high-resolution transmission electron microscope and in situ mass spectrometry (MS),respectively.We obtain that both ECR PA-ALD and the magnetic field enhanced PA-ALD can deposit thin films with high density,high purity,and uniformity at a high deposition rate.MS analysis reveals that the A12O3 deposition reactions are not simple reactions between TMA and oxygen plasma to produce alumina,water and carbon dioxide.In fact,acetylene,carbon monoxide and some other by-products also appear in the exhaustion gas.In addition,the presence of bias voltage has a certain effect on the deposition rate and surface morphology of films,which may be attributed to the presence of bias voltage controlling the plasma energy and density.We conclude that both plasma sources have a different deposition mechanism,which is much more complicated than expected.     

节电系统在工业除尘风机上的应用

广西玉柴机器股份有限公司五发厂机体二工段的车间配备有一套工业除尘系统。通过节电系统在工业除尘风机上的应用,研究节电系统前后在运行过程中的能效数据可知,5台风机年节约用电337075度,按单位购进电价每千瓦时0.76元计算,节约电费256177元,效益可观。     

基于骨料含泥量变化调整混凝土配合比的方法研究

从工程实践常遇到的细骨料含泥量超标的现象入手,提炼出骨料含泥对混凝土和易性的影响因素,以及砂石引起和易性不足的解决思路,对骨料含泥量变化进行定量分析研究。在配合比调整过程中,通过增加同体积的水泥用量,以抵消泥带入的孔洞的体积,解决混凝土和易性能不足,强度偏低的问题。经过大量试验总结了形成调整混凝土配合比的方法公式,通过调整后的配合比可改善混凝土的和易性能、抗压强度、耐久性能,达到设计标准值。