对中国石化工业发展战略的几点思考

概要介绍了中国石化工业的现状;重点分析了面临的发展新阶段的环境特点;最后提出了发展中国石化工业的战略措施建议。     

基于KRUSTY带核实验的热管冷却反应堆瞬态分析程序验证

基于斯特林技术的千瓦级热管反应堆实验（Kilowatt Reactor Using Stirling Technology,KRUSTY）开展了目前国内外唯一完成且公开发表的热管冷却反应堆带核实验,实验开展的工况包括冷态启动、负载变化、热管失效、反应性引入及热阱丧失事故等,这些工况下的带核实验数据对于热管堆瞬态分析程序的验证至关重要。本文自主研发了适用于热管反应堆的瞬态分析程序TAPIRS-D,采用KRUSTY带核实验数据对该程序展开了验证,对实验开展的冷态启动、负载变化、热管失效、反应性引入及热阱丧失事故进行了模拟计算和对比。验证结果表明：TAPIRS-D程序计算结果与实验数据符合较好,各工况下模型计算燃料温度的最大相对误差小于2%,整体功率的计算平均误差小于10%,预测的堆芯功率与温度瞬态响应与实验数据趋势符合一致,验证了TAPIRS-D程序的准确性与可靠性。本文研究可为其他新开发的热管堆热工安全分析程序的验证工作提供参考。     

光刻机超精密运动台数据驱动MIMO定结构前馈控制

超精密多输入多输出(Multiple-input multiple-output, MIMO)运动台是集成电路制造装备——光刻机的核心部件之一,其轨迹跟踪性能是保证光刻机产率和分辨率的关键。提出一种高效的数据驱动MIMO定结构前馈控制方法,有效补偿参考轨迹引入的伺服误差,降低各自由度间的耦合,从而提高光刻机超精密运动台对不同轨迹跟踪任务的适应性及跟踪性能。采用多项式对MIMO前馈控制器进行参数化,以保证前馈控制器的固有稳定性及其对变轨迹的鲁棒性。利用脉冲响应实验法无偏估计过程灵敏度函数矩阵的马尔可夫参数,进而建立高效的数据驱动参数优化算法,根据伺服系统的输入-输出数据迭代优化MIMO前馈控制器参数。所提方法无需对光刻机运动台建模,且每次迭代仅需一次轨迹跟踪实验。将所提方法应用于课题组自主研发的光刻机硅片台,2种参考轨迹的跟踪实验结果验证所提方法在有效提高轨迹跟踪性能的同时降低各自由度间的耦合。     

基于COMSOL的感应耦合等离子体刻蚀机流体模型

流体动力学模型被广泛地用于感应耦合等离子体（ICP）的仿真,即使连续性方程在这样低的压力下通常会被认为是不适用的。本课题模拟了一个真实的充满氩等离子体的ICP刻蚀机。本模拟基于一个多物理场仿真软件——COMSOL,一种偏微分方程求解器。正如其他的等离子体流体模型所示,在本模型中用漂移扩散近似描述离子,对电子运动用准中性假设,用简化的Maxwell方程计算电磁场,用电子能量方程求解电子温度,用Navier-Stokes方程来描述中性背景气体。本文展示了在功率200W和气压1.33Pa（10 mTorr）条件下的2维等离子体参数分布情况。进而对比了电子数密度和电子温度随功率的变化。我们确信在预测值与真实值之间存在不一致情况,造成这种差异的原因主要是电子能量分布函数（eedf）的麦克斯韦假设以及对碰撞截面和反应速率的缺失。     

二维超精密工作台自标定算法

基于刚性运动学理论建立了二维超精密工作台运动测量模型,并在此基础上使用辅助测量装置的三个测量位姿和二维傅里叶变换提出了二维超精密工作台自标定算法;通过应用实例验证了该算法的可行性和有效性。     

基于旋转框精细定位的遥感目标检测方法研究

遥感图像中的目标往往呈现出任意方向排列,而常见的目标检测算法均采用水平框检测,并不能满足这类场景的应用需求.因此提出一种旋转框检测网络R2-FRCNN.该网络利用粗调与细调两阶段实现旋转框检测,粗调阶段将水平框转换为旋转框,细调阶段进一步优化旋转框的定位.针对遥感图像存在较多小目标的特点,提出像素重组金字塔结构,融合深浅层特征,提升复杂背景下小目标的检测精度.此外,为了在金字塔各层中提取更加有效的特征信息,在粗调阶段设计一种积分与面积插值法相结合的感兴趣区域特征提取方法,同时在细调阶段设计旋转框区域特征提取方法.最后在粗调和细调阶段均采用全连接层与卷积层相结合的预测分支,并且利用Smooth L_n作为网络的回归损失函数,进一步提升算法性能.提出的网络在大型遥感数据集DOTA上进行评估,评估指标平均准确率达到0.7602.对比实验表明了R²-FRCNN网络的有效性.     

一种新型微机械微波开关简介

文章介绍了一种新型结构和原理的微波开关，并对这种新型器件的结构原理、技术现状、产品性能及应用进行了说明。     

原位热脱附修复技术节能降耗措施研究进展

原位热脱附技术因其修复周期短、污染物去除彻底、适用性强等优点具有广阔的应用前景，但其能耗较高的问题限制了该技术的普及推广。基于对热脱附技术的系统组成与能量平衡的分析，通过对比国内外工程应用情况，总结了热脱附能耗的主要影响因素，梳理了现有的热脱附节能降耗方法。研究发现，可通过精准控制、技术耦合、回用尾气、回用烟气、优化加热井等方式降低能量输入、提升能源利用率，从而降低原位热脱附修复成本，推进该技术的推广与应用。