全玻璃平板型夫实荧光光源的工艺探讨

提出并研制出一种新型平板式全玻璃真空荧光光源（VFLS）管,与国际上传统的真空荧光光源管比较,新的器件在大面积碳场发射阴极,厚膜管结构和制造工艺等方面是新颖的。从真空荧光光源管内的工作原理出发,分析了该器件工作时管内发生的主要物理过程,详细介绍了研制VFLS管的制造工艺,并讨论了此工作目前存在的问题及前景。     

平行平面形真空微电子二极管的二分之三次关系式

从泊松（Poisson)方程出发,出了平行平面形真伫微电子二极管中考虑空间电荷效应的二分之三次方关系式,并列举了此关系式的有关应用。     

双栅极场发射阵列的特性模拟与设计

具有聚集能力的双栅极场发射阵列（ＤＧＦＥＡ）是两类最有发展前途的真空微电子器件（高分辨率场发射显示器和真空微电子微波，毫米波器件）的关键技术，本文简要比较了两种结构的ＤＧＦＥＡ的主要性能和优缺点，叙述了双层栅极结构ＤＧＦＥＡ的设计与模拟方法。从模拟计算获得的发射特性和聚焦性能可以看到，这种结构的ＤＧＦＥＡ能获得几乎平行的场发射电子束，其最大发射电流密度可达到约５００Ａ／ｃｍ＾２以上，是发展真空微电     

新型微电极葡萄糖传感器

提出了一种新型的微电极葡萄糖传感器.以与IC兼容的硅作为基底材料,利用MEMS加工工艺,采用硅腐蚀及SU8微反应池方法制成了新型微电极传感器.与传统的电流型传感器相比,该传感器有较小的敏感面积(1mm×1mm),较低的检测下限(1×10-4M),较宽的检测范围(1×10-4～1×10-2M),较好的重现性与稳定性,以及易于与处理电路集成等优点.     

基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真

报道了一种新型的基于MEMS技术的微型电场传感器。该传感器采用半导体微加工工艺制备 ,具有体积小、重量轻、功耗低等优点。阐述了传感器的工作原理 ,描述了设计方案 ,介绍了计算机模拟仿真结果     

SU-8微针执行器的研究

设计和采用MEMS工艺技术制作了一种由电磁驱动的微量取样执行器。执行器的结构包括微针、通道、反应室、电极以及永磁微阵列等。通过外部磁场可以实现双向线性驱动。本文主要介绍了利用SU 8光刻胶材料 ,采用多级曝光实现 3D结构的工艺技术 ,研制出了微针执行器的雏形器件。微针的尺寸为 6 0 0 μm× 80 0 μm× 4 0 μm ,微针孔径截面为 2 0 μm× 2 0 μm ,并给出了SEM分析的研究结果     

基于电化学共聚蛋白A固定抗体的安培型免疫微传感器

研究了共聚合吡咯和蛋白A（staphylococcal proteinA）修饰传感界面的新方法,用于安培型免疫微传感器检测人免疫球蛋白（immunoglobulin G,IgG）抗原．基于微机电系统（micro electro mechanical systems,MEMS）技术,在硅片上制备带有SU-8微反应池和微型两电极系统的传感芯片,利用电化学循环伏安法,将蛋白A与吡咯掺杂后共聚于工作电极表面,以此固定IgG抗体．优化蛋白A和抗体固定的实验条件,对聚合膜进行了扫描电镜（SEM）成像分析．实验结果表明,该方法操作简便、可控性强,在160S内能够有效固定蛋白A,改善抗体固定效果,与用聚吡咯修饰传感界面的方法相比,检测灵敏度提高约10％,以此实现的安培型免疫微传感器非特异性吸附小,具有较好的重复性和稳定性．     

基于微/纳米加工技术的微型电化学免疫传感器研究

生物传感器的研制越来越趋向于微型化、集成化、智能化以及无创伤的方向发展.研制基于微/纳米加工技术的电化学免疫传感器顺应了这一趋势,利用微电子机械系统(MEMS)技术在硅基芯片上制备微型三电极系统和SU-8微型池,并采用自组装单层膜和纳米金修饰微型电极表面用于抗体的固定化,研制出新型的电化学免疫传感器.研究表明,这种微型电化学免疫传感器易于实现批量生产,便于集成,检测过程只需要少量的样品,大大降低有毒试剂的消耗,减少环境污染,同时具有分析成本低,响应时间快,检测下限低和适用于现场快速检测等优点.     

基于微型氨气敏感单元的氨氮检测系统研究

设计并制备了一种具有微池薄液层结构的安培型氨气微传感器,并以此微传感器构建了氨氮检测系统,探索了使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法.该微传感器为采用MEMS工艺制备的微电极芯片.在微传感器的设计中,将传统的薄层电解液与腔体两结构融为一体,省去了腔体结构,有效减小了体积.氨敏感材料选用铂黑,通过电化学方法修饰于微电极表面.薄层电解液选用保湿性较好的LiCl溶液.使用自行设计的氨氮检测系统对不同浓度氨氮样品进行检测,线性范围0.4～5(mg/L),线性相关系数0.992,检测下限0.2(mg/L),达到90％响应信号所需的时间在2min以内.结果表明,使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法是可行的.微池薄液层的设计使传感器结构简单、便于加工,同时使氨气可以迅速扩散到电极表面,保证了传感器的响应速度.     

用于多参数生化检测微系统的葡萄糖传感器的研究

基于生物酶催化的电化学电流检测原理对人体血液生化参数进行测试.利用MEMS技术将电极、酶、反应室以及微型流路等单片集成,研制单一生物芯片的多电极酶传感器目的是同时测定人体血液的多个生化参数.本文主要介绍传感器芯片的工作原理、结构设计、加工技术及初步实验结果,其中葡萄糖在磷酸盐缓冲盐水(PBS)中的测试范围为1～30 m*mol/L,可以满足临床血糖检测的要求.