氢化非晶硅薄膜的性能研究

本文研究了PECVD系统沉积薄膜及其特性．通过椭偏仪测出了薄膜的膜厚, 采用电子薄膜应力分布测试仪分析了薄膜应力,并运用四探针装置研究了电阻率、方阻、TCR及它们之间的相互关系。结果表明,所沉积的薄膜覆形特性好、沉积速度快, 沉积速率达到了31．89nm／min,另外,它还具有低应力、高TCR的特点;当薄膜电阻率处在一定的范围内时,通过数据分析,电阻率与TCR之间几乎成线性关系．     

铌酸锂微纳米结构的制备与分析

为实现铌酸锂光学器件的高效集成，在其表面制备亚波长结构是实现其光学特性的最佳方式。然而，目前使用的聚焦离子束刻蚀、激光刻蚀、湿法刻蚀等方法很难简单、经济、较快地制备铌酸锂亚波长结构。鉴于此，本课题组基于有限元仿真及低能离子束刻蚀技术，研究了不同离子束参数下刻蚀的铌酸锂亚波长结构及其透射率。采用Lambda950分光光度计和原子力显微镜分别对刻蚀后的铌酸锂样品的透射率、均方根粗糙度、纳米结构的纵向高度和表面形貌进行了分析。结果表明：当离子束入射角度为70°、入射能量大于600 eV、束流大于40 mA、刻蚀时间大于60 min时，铌酸锂样品表面形成了大面积的锥形纳米结构，并且纳米结构的高度随着离子束刻蚀参数的增大而增大；在可见光波段，铌酸锂表面纳米结构越高，增透效果就越明显；当入射能量为1000 eV、离子束束流为40 mA、入射角度为70°、刻蚀时间为120 min时，铌酸锂表面刻蚀出了纵向高度为143.5 nm的锥形结构，此时在可见光范围内铌酸锂样片的峰值透射率为83.5%，相较于原片的透射率提高了约12.5个百分点。     

高反射镜表面疵病激光散射显微成像检测

反射镜表面疵病散射直接影响光学测试系统的性能、精度等多项重要指标。反射镜表面疵病的散射量可借助激光散射显微镜进行检测，为了保证整个系统的检测效率及精度要求，在硬件系统的设计上，设计显微物镜镜头、计算光斑的大小及CCD的功率谱响应；在软件系统的设计上，利用软件编写激光散射显微成像测试系统软件，能利用步进电机对反射镜表面进行扫描，同时控制图像采集卡采集图像并保存，重点研究如何快速有效地对采集到的子孔径图像进行精确配准，为后续图像的拼接处理奠定基础。通过分析整个测试系统的精度，×20倍率下能够分辨5~10 μm疵病。     

超高效液相色谱法定量检测干果中20种酸性染料

该研究建立了超高效液相色谱-二极管阵列检测器法测定干果中20种酸性染料的方法。方法采用乙腈-水(体积比17∶3)为提取溶剂，提取液经凝胶色谱柱净化，以及选用C18柱进行分离，经二极管阵列检测器进行目标痕量水平检测。结果表明，该方法具有良好的线性范围(10～50μg/mL),相关系数(r)大于0.988 3,检测限为0.01～0.26μg/g,回收率为71%～114%,相对标准偏差(n=6)为0.80%～7.5%。经检验，该方法具有高灵敏度和可靠性，可同时检测食品中的20种酸性染料。     

胆甾醇辛酸酯超薄膜的制备及其热旋光性能研究

采用Langmuir-Blodgett(LB)技术制备了胆甾醇辛酸酯超薄膜,并且得出了最佳的制膜条件。在溶液质量浓度为3mg/mL,表面压为55mN/m,拉膜方式为垂直提拉法,LB膜类型为Y型膜,拉膜速度为1mm/min时,得到了形貌致密均匀的胆甾醇辛酸酯超薄膜。利用原子力显微镜(AFM)和旋光测试系统对制备的超薄膜进行研究,测试了胆甾醇辛酸酯超薄膜的热光性能。结果表明,所制备的胆甾醇辛酸酯超薄膜具有良好的热旋光性能。