不同石英料在融硅中腐蚀速度的测定

一、前言目前,国内外用直拉法(CZ法)生长硅单晶时均以石英做坩埚,由于石英在融硅中可被腐蚀,则引起氧和其它杂质对融硅的沾污。为了提高硅单晶的纯度、降低硅单晶的补偿度,所以石英在融硅中溶解特性的研究引起了国内外广泛重视。尽管在阿部敏雄等人的工作中曾指出过不同厂家出产的石英在融硅中腐蚀速度不同,但尚缺少不同石英料在熔硅中腐蚀速度的数据。为了进一步研究石英坩埚