高耐压LDMOS用的高K薄膜湿法刻蚀研究

为了对横向双扩散MOSFET(LDMOS)器件所采用的锆钛酸铅(PZT)高介电常数(高K)薄膜进行微图形化,对湿法刻蚀过程中腐蚀液、光刻、刻蚀等工艺进行了优化研究,发现由BOE+HCl+HNO3+H2O+缓冲剂组成的腐蚀液刻蚀效果较好。刻蚀结果表明,所刻蚀薄膜的厚度约为600nm,最小线条宽度约为3μm,侧蚀比减小到1.07∶1,符合功率器件制备的尺度要求,由此所制备的LDMOS器件耐压提高了近2倍。     

Preparation and characteristics of ZnO films with preferential nonpolar plane orientation on polar sapphire substrates

The properties of ZnO thin film on sapphire (0001) substrate fabricated by single source chemical vapour deposition (SSCVD) method are studied. X-ray diffraction (XRD) analysis demonstrates that the film exhibits hexagonal structures but with preferential nonpolar (100) plane orientation, which is different from the crystalline structure of substrate, and its formation mechanism is also analyzed. The film has the characteristic of p-type conductivity originating from excess of oxygen, and its p-type conductivity is comparatively stable due to its nonpolar plane orientation. A strong ultraviolet (UV) emission and a high light transmission in visible wavelength region are observed from photo-luminescence (PL) spectrum and transmittance spectra at the room temperature, and the strong ultraviolet emission originates from the recombination of free and bound excitons. Compared with the ZnO film on silicon substrates, the exciton emission peaks of the film on sapphire substrate show a slight blue shift about 50 meV, which might be related to the different crystallite sizes or surface stress of the films.     

“化学工程学科中青年学者学科发展战略研讨会”在上海召开

国家自然科学基金委员会化学科学部于2012年12月17-18日在上海召开了"化学工程学科中青年学者学科发展战略研讨会"。会议邀请了化学工程学科历年获得国家杰出青年科学基金和创新研究群体科学基金资助的中青年学者,研讨化学工程领域国际发展动态和前     

盐湖联合基金实施概况与展望

本文总结和分析国家自然科学基金委员会-青海省人民政府柴达木盐湖化工科学研究联合基金2014—2020年资助情况。以2017年资助集成项目为例,介绍了联合基金的典型成果。最后展望了盐湖联合基金发展趋势,提出了未来资助工作的建议,为科研工作者提供参考。     

准噶尔盆地腹部地区石油地质特征及找油前景

准噶尔盆地腹 部地区在前寒武纪结晶基底的基础上于石炭纪末一二叠纪早期形成了北西向错落有序的坳隆构造格局,它基本上控制着盆地主力烃源岩二叠糸的空间分布和有利油气聚案带的位置。中晚侏罗世,在盆地腹部形成了北东向低幅隆起带,成为浅层侏罗糸的勘探领域。盆地腹部生油凹陷面积大,且发育多套烃源岩层。从油气生成、运移、聚集及保存条件分析,莫索湾凸起、三南凸起、达巳松凸起、玛湖背斜、白家海凸起是盆地腹部近期油气勘探的有利地区,陆南凹陷、炮台凸起则为今后勘探接替区。     

石油地质学家

张国俊,教授级高工,1936年6月生于西安市,1956年6月毕业于西北大学地质系石油与天然气专业,同年参加工作。1956年6月至1980年3月,任新疆石油管理局地调处地质员、地质师、主任地质师;1980年3月至1984年7月,任勘探开发研究院副院长兼.     

日立建机ZX330-3型液压挖掘机

日立建机于2007年3月在中国推出ZX330-3型号的产品,搭载了环保性能与强大功率兼备的五十铃AH-6HK1X型发动机和高压共轨喷射系统,废气排放符合日、美、     

Ar气退火温度对4H-SiC热氧化层致密性影响研究

在Ar气气氛下对热氧化n型4H-SiC生长的SiO2薄膜进行了1100 ℃以下不同温度的退火, 采用反射式椭圆偏振光谱、红外透射光谱研究了退火温度对SiO2薄膜致密性的影响. 椭偏测试的结果表明, 600 ℃退火后样品具有最大的折射率1.47和最小的厚度84.63 nm. 红外研究的结果显示, 600 ℃退火后LO峰强度最强, 认为是对应Si-O结构单元浓度最高. Al/SiO2/SiCMOS结构SiO2的漏电特性研究表明, 600 ℃退火后的SiO2薄膜漏电流相比于其他温度退火的氧化层漏电流小了两个数量级. 在外加反向偏压5V时, 漏电流密度仅仅只有5×10-8 A/cm2.600 ℃退火能显著地改善热氧化层SiO2的致密性.     

9th BICES 特色产品鉴证实录(上)

柳工纪念版856Ⅲ型轮式装载机 经过多年的大规模技术改造和自主创新,柳工集团的发展步伐不断加快.2008年将是柳工集团成立50周年,公司在9th BICES展会上隆重举行了柳工成立50周年系列庆典活动,并为柳工纪念版856Ⅲ型轮式装载机揭开了神秘的面纱.