Electrical characterization and process control of cost-effective high-k aluminum oxide gate dielectrics prepared by anodization followed by furnace annealing

A cost-effective technique was introduced to prepare ultrathin aluminum oxide (Al/sub 2/O/sub 3/) gate dielectrics with equivalent oxide thickness (EOT) down to 14 /spl Aring/. Al/sub 2/O/sub 3/ was fabricated by anodic oxidation (anodization) of ultrathin Al films at room temperature in deionized water and then furnace annealed at 650/spl deg/C in N/sub 2/ ambient. Both dc and dac (dc superimposed with ac) anodization techniques were investigated. Effective dielectric constant of k/spl sim/7.5 and leakage current of 2-3 orders of magnitude lower than SiO/sub 2/ are observed. The conduction mechanism in Al/sub 2/O/sub 3/ gate stack is shown to be Fowler-Nordheim (F-N) tunneling. Saturated current behavior in the inversion region of MOS capacitor is observed. It is found that the saturation current is sensitive to interface state capacitance and can be used as an efficient way to evaluate the Al/sub 2/O/sub 3/ gate stack/Si-substrate interfacial property. An optimal process control for preparing Al/sub 2/O/sub 3/ gate dielectrics with minimized interface state capacitance via monitoring the inversion saturation current is demonstrated.     

选择测试阀在现场测试中的应用

选择测试阀是新一代全通径压控式测试器，在结构和性能上有了本质的创新，使现场操作更加简便、安全，对井筒条件要求低，更适用于高温、高压、深井、气井的地层测试，拓宽了地层测试和其它井下作业的兼容性。经7井次应用，其安全性、可靠性越来越得到认可。     

浅述设备对PCB微孔电镀镀液更新之影响

分析了设备对PCB电镀过程中孔中镀液更新之影响,为有效地利用设备条件改善孔中镀液的更新提供了一些方法及理论数据。     

利用整合区域特性约束提高孔隙率模拟精度

本文将空间结构变化的要求与动态资料确定的储量共同作为约束,建立了包含两个约束条件的目标函数, 应用模拟退火算法对孔隙率的空间分布进行预测。在实现过程中,通过初始控制参数的给定及目标函数修改提高了运算效率。由于目标函数有效地整合了静、动态信息,从而降低了模拟结果的不确定性．提高了模拟的精度。合成数据及实际数据的模拟试验表明,整合区域特性约束不仅提高了孔隙率模拟精度,而且算法收敛快、稳定性高。     

基于USB总线的虚拟频谱分析仪设计

文章详细介绍了基于USB总线的虚拟频谱分析仪的设计过程。该仪器使用嵌入式混合处理器MC56F8323来实现动态信号的实时采集、频谱分析和数字滤波等功能。处理结果由USB2．0接口芯片CY7C68013上传至PC机．以完成数据显示、存储、绘制图形等功能。其中，CY7C68013工作于Slave FIFO模式，以实现与MC56F8323间的数据传输。该系统可同时对两路动态信号进行实时谱分析，每路采样频率高选500kHz。     

含氮化合物对NiW体系催化剂芳烃加氢性能的影响

以γ-Al2O3、B改性的γ-Al2O3、F改性的γ-Al2O3、SiO2-Al2O3为载体制备Ni、W含量相同的四种催化剂，通过程序升温还原表征考察活性金属与不同载体的相互作用。利用氮含量不同、四氢萘含量相同的四种原料考察含氮化合物对同种NiW体系催化剂四氢萘加氢的影响以及对活性金属与载体相互作用不同的催化剂四氢萘加氢的影响。结果表明，以γ-Al2O3或SiO2-Al2O3载体制备的催化剂的金属组分与载体相互作用较强，B或F改性的γ-Al2O3能显著削弱活性金属与载体的相互作用；含氮化合物对四氢萘加氢具有强烈的抑制作用，使四氢萘加氢反应的表观活化能增加；在实验研究的四种催化剂中，金属组分与载体相互作用较弱的催化剂受含氮化合物的抑制较强。     

油气吸收回收系统的研究及工业应用——(Ⅰ)中型试验及结果分析

在蒸发油气吸收回收技术小试研究的基础上，开发出常温常压吸收法油气回收中试装置，并利用已开发的吸收剂AbsFOV-97进行了中试试验。结果表明，当系统进料气、吸收剂AbsFOV-97、汽油的体积流量比为10．0：1．0：0．5、真空泵解吸压力小于13．3kPa时，系统回收率高达97％以上，高于设计指标，且回收汽油的质量满足使用要求。统计数据表明，油气回收系统进料气、尾气中平均油气摩尔质量分别为65．51、48．97g／mol，该值可为油品蒸发损耗及其控制技术的评价提供参考。     

A novel compact ring dual-mode filter with adjustable second-passband for dual-band applications

In this letter, a novel compact ring dual-mode with adjustable second-passband for dual-band applications are presented. A ring resonator with two different geometric dimensions are derived and designed to have identical fundamental and the first higher-order resonant frequencies, and to establish appropriate couplings in the structure. Moreover, the proposed filter has smaller size as compared with the basic topology of stopband filters and stepped-impedance-resonator (SIR) filters. The measured filter performance is in good agreement with the simulated response.     

炼油厂碱性污水生物催化氧化预处理工艺研究

在对炼油厂碱性污水水质分析的基础上,提出采用生物催化氧化工艺对碱性污水进行预处理。试验结果表明,在水力停留时间为4 h,曝气量(标准状态)为8 m3／h的条件下,碱性污水的硫化物去除率可达90％以上,出水中的硫化物平均值为15．2 mg/L,CODCR、酚和油的去除率分别为47．5％,44．1％,50．8％,其中CODCR体积负荷为3．85 kg／(m3·d),是传统生化处理的10倍, 达到了污水预处理的目的。     

求解二维结构-声耦合问题的一种直接方法

本文基于传递矩阵法(TMM)和虚拟边界元法(VBEM)，提出了一种求解在谐激励作用下二维结构-声耦合问题的直接法。文中对任意形状的二维弹性环建立了一阶非齐次运动微分方程组，便于用齐次扩容精细积分法求解，对于含有任意形状孔穴的无穷域流体介质的Helmholtz外问题，采用复数形式的Burton-Miller型组合层势法建立了虚拟边界元方程，保证了声压在全波数域内存在唯一解。根据叠加原理并结合最小二乘法，提出了一种耦合方程的直接解法，由于该方法不存在迭代过程，因而具有较高的计算精度和效率。文中给出了二个典型弹性环在集中谐激励力作用下声辐射算例，计算结果表明本文方法较通常采用的混合FE／BE法更为有效。