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纳米CeO2的醇水法制备及其对GaAs晶片的抛光性能 总被引:1,自引:0,他引:1
在醇水体系中以HMT为缓释沉淀剂制备了纳米CeO2粉体,并用TEM、SAD、XRD对其进行了表征,将制备的不同粒径纳米CeO2粉体配制成抛光液,对GaAs晶片进行了化学机械抛光。研究了醇的引入及煅烧温度对粉体性能的影响,并就纳米CeO2磨料尺寸对GaAs晶片抛光后表面粗糙度的影响机理进行了探讨。结果表明:醇水体系中制备的纳米CeO2颗粒较水溶液中制备的颗粒粒径小,且分散性好;随着煅烧温度的升高,颗粒逐渐增大,不同尺寸的纳米颗粒具有不同的抛光效果;随着磨料粒径的增大,表面粗糙度值也随之升高。 相似文献
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常用的含水饱和度计算公式,有目的地应用于同一储层时,需要输入不同的含水饱和指数值,进一步讲,根据储层自身特性,需要的饱和度指数值是可变的,通过考虑输入值的不同,预测的含水饱和度与使用不同 的岩石物理计算公式得到的含水饱和度之间的差异,能够被限制在一定范围内,处理过程被综合成一种规范的,交互式,易于操作的应用方法,可以确定适于特定目的饱和度指数,利用该处理方法,在进行含水饱和度评价时,与解释模型的选择相关联的灵敏度肯定将受到抑制,因此,通过误差限制,该方法的应用将增加岩石物理解释的可信度。 相似文献
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文章通过对办公自动化OA系统的研究阐述,结合嘉兴市中医医院的实际应用和浙江省医德医风考核模块的嵌入实现的情况,证明OA系统提高了医院行政办公效率,方便了医德医风考核评价分析,促进了数字化医院建设。 相似文献