InAs/GaSb II类超晶格红外探测器背减薄技术研究

针对InAs/GaSb II类超晶格红外探测器开发高质量背减薄工艺，获得了高质量衬底表面，改善了超晶格红外探测器组件的成像品质。采用机械抛光和机械化学抛光相结合的工艺减薄衬底，其中机械抛光削减衬底大部分厚度，然后通过机械化学抛光去除机械损伤。机械化学抛光过程中，在压力、转速等不变的情况下，主要研究机械化学抛光液的pH值对衬底表面质量的影响。实验结果表明，当机械化学抛光液的pH值为9.4时，获得了高质量、低损伤的芯片衬底表面，并实现了最佳的探测器组件成像效果。     

对过程控制实验的认识与实践

过程控制实验是过程控制工程课的重要教学环节,对提高学生专业技能、理论水平、实践能力和创新精神具有非常重要的作用.本文提出了实验工程化的目标、使用一种实验装置完成多种控制系统实验项目,包括单回路、串级、前馈—反馈、选择、比值等.合适的实验装置功能是提高实践教学质量的重要保证.     

燃油的与燃煤气的闭式STIG循环力性能比较

燃油的闭式注蒸汽燃气轮机（STIG）循环是一种高效率、低污染及少用水的新型动力循环，而燃煤气的闭式注蒸汽燃气轮机循环不仅具有注汽燃气轮机循环的优越性能，同时可以实现煤的高效、清洁利用的。给出了燃料改用煤气后，燃油的与燃煤气的闭式注蒸汽燃气轮机循环的性能比较，同时分析了两循环分别采用一次中间再热后，再热措施对两循环热效率的不同影响。再热措施只有在初温较低、压比较高时才能提高IGCSTIG循环的热效率，而不像CSTIG循环那样，在所有压比范围内，再热均能使热效率有所提高。