柠檬酸在钴基铜互连CMP及后清洗的研究进展

钴(Co)具有较低的电阻率、良好的热稳定性、与铜(Cu)粘附性好等优点,可以替代钽(Ta)成为14 nm以下技术节点集成电路(IC) Cu互连结构的新型阻挡层材料。化学机械抛光(CMP)是唯一可以实现Cu互连局部和全局平坦化的方法,也是决定Co基Cu互连IC可靠性的关键技术。柠檬酸含有羟基,在电离后对金属离子有较强的络合作用,成为Co基Cu互连CMP及后清洗中的主要络合剂。文章评述了柠檬酸在Cu互连CMP及后清洗中的应用和研究进展,包括柠檬酸对Cu/Co去除速率选择比、Co的表面形貌以及Co CMP后清洗中Co表面残留去除等方面的影响,并展望了络合剂及Cu互连阻挡层CMP的发展趋势。     

尿素生产技术进展、市场及下游产品开发

综述了尿素生产技术近年来的进展情况；回顾分析了近年来国内外尿素市场的变化历程；介绍了几种具有广阔市场前景的尿素下游产品的用途、生产方法及国内外生产情况。     

压力容器的高温蠕变

一、概述 现代动力、石油、化学工业和原子能工业的飞速发展,对压力容器和管道、锅炉等提出了各种愈来愈苛刻的要求,其中包括高温和高压同时作用的情况。如电热厂高压锅炉的一次过热器管子、大型氨厂一段加压蒸汽转化炉的转化管及核电站的受压容器和部     

基于NMF-HGS-RF的瓦斯涌出量预测研究

瓦斯涌出量与开采环境和开采技术之间存在复杂的非线性关系，为了精准预测瓦斯涌出量，提出将非负矩阵分解(NMF)和随机森林(RF)相结合，建立煤层瓦斯涌出量预测模型。对沈阳某矿井数据的13个特征指标进行非负矩阵分解实现降维，将提取的5个主要成分作为RF的输入，瓦斯涌出量作为输出，实现回归预测。运用饥饿游戏搜索算法(HGS)对RF进行参数优化，并与麻雀搜索算法(SSA)、冠状病毒群体免疫优化算法(CHIO)、遗传算法(GA)、算数优化算法(AOA)、Aquila优化器算法(AO)、阿基米德算法(ArchOA)参数优化结果进行对比。实验结果显示：NMF-HGS-RF的收敛速度相对较快，预测精度相对较高，其相对误差的平均值为4.74%,而NMF-RF、NMF-SSA-RF、NMF-CHIO-RF等模型相对误差的平均值分别为6.34%、5.85%、6.21%、8.49%、4.95%、6.11%和7.93%。结果表明：NMF-RF预测精度高于未经降维处理的RF,且NMF-HGS-RF相比其他参数寻优后的RF具有更好的预测性能。     

纺织机械新品一览

经纬榆次分公司拓展开发F1520CJ型细纱机 为满足市场自动化、连续化、智能化，特别是对纺低支纱、大卷装细纱机的需求，经纬纺机榆次分公司纺纱机械部设计室在现有产品的成熟经验之上，拓展开发了F1520CJ型细纱机。     

氯气干燥塔除雾装置的改进和效果

我厂在氯氢处理岗位氯气干燥塔上,安装了捕雾罩与旋流板相结合的除雾器,改造前的生产流程如图1。以前氯气干燥塔用旋风分离器,则:1、管路系统带酸过多,钢管道和设备腐蚀严重。2、旋风分离     

定速送水泵叶轮切削对改善水泵运行性能的实践与总结

设计选型偏于保守使得许多送水泵房存在水泵设计扬程偏高,这导致水泵实际运行扬程远低于设计扬程,水泵存在运行效率偏低、气蚀严重、电机过载运行及设备运行振动大等问题。本文通过对定速泵进行叶轮切削,经过测试,表明叶轮切削提高了水泵的运行效率,降低水泵能耗,同时也解决了水泵气蚀严重、运行振动、噪音大、电机运行温度较高等问题。     

像学习语言一样学习CW（上）

近年来，常听到人们谈论学习CW有多困难，我在学习CW中也遇到过很多困难，但是最后我学会并爱上了它。回顾自己的学习过程，我试图弄明白困难所在，并且思考解决办法，下面是我的一些感受。