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相似文献
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1.
为了解决大口径非球面反射镜材料去除效率与面形收敛效率之间的矛盾,提出了基于高低阶面形误差分离的组合加工技术。首先,分析了不同尺寸磨头对不同周期面形误差的控制能力。然后,比较了不同磨头的收敛效率与加工时间之间的关系。最后,根据大口径非球面反射镜加工过程中面形误差的特点,将大口径非球面反射镜的面形误差分离为低阶面形误差与高阶面形误差,使用不同加工方式分别对高、低阶面形误差驻留时间进行求解。通过多种加工方式组合加工的方法建立了具有针对性的加工策略,有效提高加工效率。结合工程实例,对一块口径为2.04m的非球面SiC反射镜进行了加工试验,单个组合加工周期内面形收敛效率达到61.2%。结果表明,高阶与低阶面形误差均得到较好的去除。材料去除效率与面形收敛效率均得到提高,达到了良好的效果,满足加工需求。  相似文献   

2.
研究了三轴离子束系统抛光大口径高陡度离轴非球面过程中镜面曲率变化对离子束抛光去除函数的影响。提出了利用修正矩阵修正各驻留点处的去除函数信息,进而实现对高陡度离轴非球面高精度抛光的方法。该方法通过对离轴非球面进行坐标转换来降低陡度变化对去除函数的影响;基于Sigmund溅射理论分析离子束抛光非球面材料的去除率,建立离子束抛光非球面去除函数模型,计算了材料去除率在非球面各驻留点处的变化。最后,根据投影原理计算在各驻留点处去除函数的半宽,得到以驻留点矩阵为基础的去除函数修正矩阵,从而掌握每一个驻留点处的去除函数信息,然后根据计算机控制光学表面成形(CCOS)原理解得加工驻留时间分布。选取口径为900mm×680mm,离轴量为350mm的离轴体育场型非球面镜进行了抛光实验,实验显示抛光后非球面镜面形精度的RMS值由32.041nm达到11.566nm,收敛率达2.77,对实际加工具有指导意义。  相似文献   

3.
气囊抛光过程的运动精度控制   总被引:1,自引:0,他引:1  
针对用于球面、非球面光学元件超精密光学加工的气囊抛光技术,提出了一套控制抛光过程中气囊运动精度的方法。该方法通过控制加工单元的温度,保证抛光过程中设备运动精度达到50μm;使用坐标传递法,使检测数据二维方向对准不确定度达到0.30~0.70mm。另外,基于磨头去除量估计与反馈修正法,提高精抛过程面形误差收敛效率。最后,通过磨头探测校准法,将磨头与加工工件法向位置精度提高至10μm。实际抛光实验显示:使用运动精度控制法在280mm口径的平面精密抛光中获得的面形加工精度为0.8nm(RMS),在160mm口径的凹球面精密抛光中获得的面形加工结果为1.1nm(RMS),实现了超高精度面形修正的目的,为超高精度球面、非球面光学元件加工提供了一套行之有效的方法。该方法同样适用于其他接触式小磨头数控抛光方法。  相似文献   

4.
高精度离轴凸非球面反射镜的加工及检测   总被引:4,自引:1,他引:3  
张峰 《光学精密工程》2010,18(12):2557-2563
为了提高离轴凸非球面反射镜的面形精度和光轴精度,研究了离轴凸非球面反射镜的加工与检测技术。首先,描述了离轴三反消像散(TMA)光学系统以及作为该光学系统次镜的离轴凸非球面反射镜的光学参数和技术指标。然后,介绍了非球面计算机控制光学表面成型(CCOS)技术及FSGJ非球面数控加工设备。最后,给出了非球面研磨阶段检测用的轮廓测量法和离轴凸非球面抛光阶段检测用的背部透射零位补偿检测法,并对背部透射零位补偿检测中离轴凸非球面反射镜光轴精度的控制技术进行了研究。检测结果表明:采用背部透射零位补偿检测法检测得到的离轴凸非球面反射镜的面形精度为0.017λ(均方根值,λ=0.632 8μm);用Leica经纬仪测量反射镜的光轴精度其结果达到9.4″,满足光学设计技术指标要求。  相似文献   

5.
大口径高次、离轴非球面干涉测量中投影畸变的标定方法   总被引:7,自引:7,他引:0  
提出了运用干涉仪的Fiducial功能确定干涉仪CCD的测量坐标系与非球面镜面坐标系的对应关系,然后对两者关系进行正交化拟合,从而标定出非球面干涉检验中的投影畸变,并用于某高次、离轴非球面进行干涉检验中的投影畸变标定,拟合精度为1.964 53μm.根据标定结果对干涉测量面形图重构,进行了数控抛光实验,最终面形精度达到均方根值λ/20(λ=0.632 8 μm),证明拟合精度完全满足数控抛光的要求.  相似文献   

6.
离轴非球面数控抛光路径的自适应规划   总被引:2,自引:0,他引:2  
根据质点系平衡的加权平均思想,提出了一种新的适用于离轴非球面数控抛光的路径规划方法。根据影响抛光结果的因素,给出了权因子的组成元素及其计算方法,包括常数,加工残差分布以及离工件边缘的距离。给出了权因子间影响系数的粗略确定方法。对一组面形数据进行了虚拟加工,与常规的X-Y直角坐标系型加工路径相比,面形均方根收敛率从0.36提高到了0.62,其它各项数值的表现也均优于常规方法。最后,对算法中的一些问题做了简要的说明和讨论。方法原理简单,效果显著,满足实际使用要求。  相似文献   

7.
研究了空间遥感器用大口径SiC离轴非球面的超声复合磨削加工工艺。分别对磨削原理、金刚石砂轮结合剂选择、机床选取、磨削参数设定等进行了分析,并设计和规划了磨削工艺流程。基于逆向工程原理建立了高精度离轴非球面模型,创立了激光跟踪仪精磨阶段在线测量大口径离轴非球面的工艺。结合工程实践对一口径为700mm×700mm的SiC高次离轴非球面元件进行了逆向工程建模和超声磨削加工试验,并利用激光跟踪仪进行了在线检测。经过3个周期(每个周期4h)的修磨,其面形精度PV值和RMS值分别由45.986μm和7.949μm收敛至12.181μm和2.131μm;与三坐标测试结果进行对比,其PV值和RMS值的偏差分别为0.892 3μm和0.312 8μm。实验显示,提出的磨削工艺实现了大口径SiC离轴非球面的快速精确磨削,其加工精度、效率以及表面质量都有了很大的提高。  相似文献   

8.
韩成顺  董申  唐余勇 《中国机械工程》2004,15(17):1520-1522
在用来加工轴对称非球面的二轴联动超精密数控机床的工件主轴上安装可以精确给出旋转角度的码盘,采用柱坐标加工方式进行离轴非球面的超精密磨削加工。在给出离轴非球面方程的基础上,给出数控加工离轴非球面的相应的几何模型。计算机仿真验证了该加工方法的简便性与可靠性。该加工方法可以降低设备投入,提高生产效率。  相似文献   

9.
ALON高陡度薄壁保形非球面的超精密磨削工艺   总被引:1,自引:0,他引:1  
为了实现新型红外陶瓷ALON高陡度薄壁保形非球面的超精密磨削加工,首先根据ALON的材料属性和高陡度薄壁保形非球面的结构特性,进行了其超精密磨削加工工艺性分析,并基于有限元计算方法,完成了面向ALON高陡度薄壁保形非球面的精密夹具的设计以及关键参数的优化。然后完成了ALON的超精密磨削工艺实验,工艺实验结果表明减小工件转速和砂轮粒度都会降低ALON的平均表面粗糙度Ra值,但砂轮粒度对磨削后ALON的表面粗糙度影响更显著。最后实现了ALON高陡度薄壁保形非球面的超精密磨削加工,磨削后的ALON高陡度薄壁保形非球面的面形精度PV值为2μm,表面粗糙度Ra值可达8.6nm。  相似文献   

10.
为了实现离轴非球面高精度定位、光路对准及面形检验,针对离轴非球面的特点,提出了一种使用CGH技术实现离轴非球面高精度光学检测的方法,将被检非球面倾斜平移后作为轴上自由曲面进行  相似文献   

11.
一种中小口径非球面元件数控抛光技术   总被引:18,自引:9,他引:9  
基于自主设计研制的FSGJ-3型非球面数控加工中心,针对口径φ108 mm凸非球面透镜(曲率半径R=318 mm,k=-3),研究了非球面粗抛光工艺、精抛光工艺、抛光设备、磨料以及相关工艺参数,提出了规范的中小口径非球面加工的工艺方法和新型轮式抛光技术,实现了中小口径非球面元件的数控快速精密铣磨成型,且保证了光学零件具有较高的面形精度。抛光后元件面形精度达到0.306 λ(PV)、0.028λ(RMS) (λ=0.632 8μm)。满足了在光学系统中使用非球面零件,明显改善像质,提高光学特性,减少光学零件数目,从而简化系统结构,减小系统体积,减轻系统质量的目的。  相似文献   

12.
摘要:变形抛光盘能够改变面型以用于非球面镜加工。基于PZT压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光磨盘,能够在PZT驱动器的作用下改变面型,为中小口径非球面镜加工提供了一种新的工具。非球面能动抛光磨盘在相对非球面工件移动时,根据位置,计算出每个PZT驱动器的变形量。因此定位误差会引起压电陶瓷驱动器的变形误差,从而造成输出的非球面面型误差。本文对定位误差进行了理论分析和计算,根据计算结果,定位误差应该限制在±0.5mm。  相似文献   

13.
光纤端面研磨加工机理研究   总被引:8,自引:2,他引:6  
给出了研磨光纤时的材料去除机理,选用粒度为微米及亚微米级的金刚石磨料砂纸,在研磨压力为0.48Mpa时,在KE-OFP-12型光纤连接器研磨机上对光纤端面进行了研磨实验.结果表明:光纤研磨加工的材料去除存在脆性断裂、半脆性半延性、延性等3种模式.材料去除模式主要取决于磨料的平均粒度,磨料粒度为3μm时,为脆性断裂到延性研磨的临界转换点.并从理论上对结果进行了分析,光纤以延性模式研磨加工时,光纤表面粗糙度Ra可达到纳米级,其表面看不到任何划痕,而光纤以脆性断裂模式研磨加工时,其表面粗糙度只能达到亚微米级,证明材料以延性模式去除是提高光纤表面质量的有效方法.  相似文献   

14.
N.E. Miller 《Wear》1980,58(2):249-259
Three-body abrasive wear rate was measured as a function of abrasive size and applied load using molybdenum alloy spheres of diameter 25.4 mm as test specimens. Diamond abrasives in the size range 1–60 μm normally used for metal lapping were tested. Tests were conducted at lap loads ranging from 9.8 to 107.9 N. For a given load it was found that there is a maximum abrasive size beyond which the wear rate will not increase and may even decrease. Several explanations of this critical size effect reported in the literature were evaluated on the basis of physical evidence.Wear rate generally increases linearly with increasing load. However, this did not occur with small abrasives. This deviation from linearity was found to be the result of an unusually effective abrasive wear condition. An explanation of this effect is given.  相似文献   

15.
用补偿器测量非球面的研究   总被引:11,自引:5,他引:6  
重点讨论用零补偿器测量光学非球面表面面形精度的方法,并通过补偿器的光学设计,具体分析了各参数要素对测量精度的影响,最后给出在非球面数控加工不同阶段中对直径500mm,ƒ/2的双曲面主镜的检测结果。  相似文献   

16.
为了提高镜片的加工精度与效率,利用计算机控制光学表面成形技术(CCOS)的抛光方法对光学镜片进行抛光全过程动态仿真。根据Preston方程建立材料去除函数模型,对抛光过程中压力、转速以及工件与抛光磨头相对半径比对抛光去除速率的影响进行分析。为建立球面镜片的动态全过程仿真,结合卷积原理,推导加工残余误差与去除函数和驻留时间三者间的线性关系,根据镜片的对称性,将元素个数从2m+1点简化为m+1点,以提高运算效率。最后为获得仿真最小残余误差,采用非负最小二乘法求解驻留时间。结果表明,材料去除速率函数类似于高斯分布,抛光后能使镜片面形误差收敛,对模拟表面进行仿真,半径为100mm的镜片其初始表面形貌粗糙度的均方根值从0.467μm收敛到0.028μm,轮廓最大高度从6.12μm收敛到1.48μm。对实测表面进行加工仿真同样令其表面形貌粗糙度的均方根值从3.007μm收敛到0.107μm,轮廓最大高度从160.73μm收敛到13.76μm,因此提出的驻留时间求解方法对于球面镜片抛光全过程动态仿真有一定的可行性。  相似文献   

17.
非球面主反射镜检测用支撑结构的优化设计   总被引:3,自引:0,他引:3  
在工程分析软件SSAP91上,应用有限元分析的方法,优化设计出Φ500mm非球面主反射镜的支撑结构,将此使用在干涉测量中,为非球面的数控加工提供可靠的面形误差数据。  相似文献   

18.
D.R. Burton  M.J. Lalor 《Wear》1982,83(1):25-36
A prospective new optical non-contact method for the assessment of surface texture is presented. A dual-beam laser Doppler anemometer is employed and the parameter “fringe visibility” is used as an indication of surface asperity size and geometry. The method was tested on specimens resulting from three different manufacturing processes, i.e. grinding, milling and turning, which possessed a range of Ra values from 0.025 to 50 μm. Both static and dynamic measurement configurations were examined.The experimental data are complemented by a review of the theoretical considerations and a computer model which considers the quantitative effects of variation in the relative asperity size, i.e. fringe spacing, and collection optics.  相似文献   

19.
The fixturing of large segmented-ring assemblies is of importance to a number of key high value industries such as the aerospace and power generation sectors. This study examines methods of optimising the circularity of segmented-ring assemblies, and how the manufacturing variation within each element (i.e. segment wedge) contributes to overall assembly variability. This has lead to the definition of two original assembly methodologies that aim to optimise an assembly, so that circularity errors are minimised for a given set of components. The assembly methods considered during this study include a radial Translation Build (TB) and a Circumscribed Geometric (CG) approach, both of which are compared to a traditional Fixed Datum (FD) build method. The effects of angular, radial, parallelism/flatness and chord length variability within the component geometry, and their effect on the circularity of the final annular assembly are examined mathematically and experimentally. Furthermore, the inherent loss of assembly circularity due to differences between component and assembly sagitta is also considered, along with the stepping caused by dissimilar adjacent component radii as a result of manufacturing variation. Experimental results show that the CG build method offers a significant improvement in circularity in most situations over the benchmark FD build method. This contrasts the TB results that proved to be the least consistent in terms of circularity, but better in the control of angular breaking errors within the assembly.  相似文献   

20.
A new approach for the fabrication of copper microgrooves with near triangular cross-sectional profile is introduced. For manufacturing the microgrooves, a laser-induced thermochemical etching technique based on an optical fiber as an optical waveguide and machining tool is proposed, which significantly reduced the complexity of a conventional laser etching set up. It is explained that the possible problem of fiber damage during laser etching with the proposed method can be solved by appropriately controlling the gap between the sample surface and fiber tip. The fabrication of copper microgrooves with 100 ∼ 300 μm in depth and 100 ∼ 150 μm in width is accomplished with the proposed technique. The grooves fabricated in the optimal process condition have smooth surfaces and clear edge. The angle of triangular groove is measured to be in the range of 30 ∼ 50 degree and the aspect ratio of grooves is about 1 ∼ 2. The overall etching results such as etch width, depth, and aspect ratio variation are reported in detail with respect to process variables.  相似文献   

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